wet pad-ething tech.

[Славка]

Приветствую.
Затрудняюсь в переводе словосочетания wet pad-ething.
Контекст:
For example, consider a photoresist strip application in a SST. The system has two heated chemical tanks. Fresh chemical is contained in Tank 1, and reclaimed (used) chemical in Tank 2. Following a wet pad-etch process, the photoresist must be stripped.
Благодарю.

[Sjoe!]

"После травления"

[Yakov]

после жидкого травления (защитного слоя) для открытия контактных площадок