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| Justier- und Belichtungsanlage; Maskenjustier- und Belichtungsanlage | |||
| Justier und Belichtungsanlage; Justier und Belichtungseinrichtung; Mask-Aligner m; Maskenjustier und Belichtungsanlage; Strukturkopieranlage f (для переноса изображения фотошаблона на полупроводниковую пластину); Waferjustier und Belichtungsanlage; Waferjustier- und Belichtungsanlage; JUB f | |||
| Justier- und Kopiereinrichtung; Überdeckungseinrichtung f | |||
| установка совмещения и экспонирования: 29 phrases in 3 subjects |
| Electronics | 3 |
| Microelectronics | 12 |
| Technology | 14 |