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Röntgenjustier- und Belichtungsanlage | |||
Röntgenbelichtungsanlage f; Röntgenjustier und Belichtungsanlage; Röntgenlithografieanlage f | |||
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Röntgenabstandsbelichtungsanlage f (с помещаемой под шаблоном с небольшим зазором пластиной с нанесённым слоем рентгенорезиста); Röntgenprojektionsbelichtungsanlage f |
установка рентгенолитографии: 2 phrases in 1 subject |
Microelectronics | 2 |