 |
| |||
| aligner (с пошаговым репродуцированием изображений непосредственно на поверхности полупроводниковой пластины); projection aligner (с пошаговым репродуцированием изображений непосредственно на поверхности полупроводниковой пластины) | |||
| проекционная установка экспонирования и совмещения: 7 phrases in 4 subjects |
| Electronics | 3 |
| Makarov | 1 |
| Microelectronics | 1 |
| Technology | 2 |