| |||
plasma etch (управляемое селективное удаление материала с помощью химически активных ионов и радикалов в низкотемпературной плазме низкого давления); plasma etching (управляемое селективное удаление материала с помощью химически активных ионов и радикалов в низкотемпературной плазме низкого давления) | |||
plasma etch chemistry | |||
plasma-chemical etching |
плазмохимическое травление: 5 phrases in 2 subjects |
Microelectronics | 2 |
Nanotechnology | 3 |