 |
| |||
| первая стадия двухстадийной диффузии; загонка примесей; загонка примеси (первая стадия двухстадийной диффузии) | |||
| предварительное осаждение; загонка примеси | |||
| predeposition: 20 phrases in 4 subjects |
| Electronics | 12 |
| Makarov | 3 |
| Microelectronics | 4 |
| Technology | 1 |