| |||
фотолитография интегральных схем | |||
фотографический метод изготовления (напр., фотошаблонов) | |||
изготовление методом фотолитографии | |||
изготовление ИС методом фотолитографии; фотохимическая обработка |
photofabrication: 1 phrase in 1 subject |
Microelectronics | 1 |