 |
| |||
| "козырёк" (нависающая часть печатного проводника, образующаяся в результате действия двух факторов – избыточного наращивания и бокового подтравливания – или одного из них) | |||
| нависание печатного проводника (сумма разрастания и подтравливания); «козырёк» (выступающая над подвергнутым травлению материалом часть фоторезиста) | |||