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| Kenngröße f; Merkmalsgrösse f | |||
| Elementbreite m (microcircuits); Strukturgröße f (microcircuits) | |||
| Strukturgröße f; Elementbreite m; Linienbreite f | |||
| feature size: 32 phrases in 4 subjects |
| Electronics | 1 |
| General | 4 |
| Information technology | 2 |
| Microelectronics | 25 |