| |||
распыление на постоянном токе со смещением | |||
распыление при постоянном токе со смещением | |||
| |||
"смещённое" диодное распыление (удаление примесей из плёнки осуществляется путём приложения к подложке небольшого по величине напряжения смещения, отрицательного по отношению к плазме разряда) | |||
«смещённое» диодное распыление (удаление примесей из плёнки осуществляется путём приложения к подложке небольшого по величине напряжения смещения, отрицательного по отношению к плазме разряда) | |||
диодное ионное распыление со смещением (с подачей небольшого отрицательного напряжения на подложку) |