German ⇄ Russian

V-ATE-Verfahren -s, = stresses
microel.	метод вертикального анизотропного травления; метод изоляции элементов ИС V-канавками; метод изоляции элементов ИС V-образными канавками; технология изготовления МДП-транзисторных или биполярных ИС с V-образными изолирующими канавками