 |
химическое осаждение из газовой фазы
| в вакууме
| химическое осаждение из газовой фазы | |
| microel. | CVD; Foto-CVD; chemische Dampfabscheidung |
| в вакууме | |
| gen. | im luftleeren Raum; isoliert |
| aerodyn. | im Vakuum |
| avia. | im Vakuum |
| chem. | unter vermindertem Druck |
| |||
| CVD; Foto-CVD n; chemische Dampfabscheidung | |||
| chemisches Abscheiden aus der Gasphase | |||
| Russian thesaurus | |||
| |||
| получение твёрдых веществ с помощью химических реакций, в которых участвуют газообразные реагенты. Используют для получения текстурированных покрытий, монокристаллов, эпитаксиальных и монокристаллических плёнок напр., в планарной технологии, нитевидных монокристаллов "усов", барьерных слоев предотвращающих разрушение покрытий на соплах ракет, при изготовлении различных изделий сложной конфигурации и др. Большой Энциклопедический словарь | |||
| химическое осаждение из газовой фазы: 22 phrases in 2 subjects |
| Microelectronics | 21 |
| Technology | 1 |