 |
| |||
| Abstandsspalt m (при бесконтактном экспонировании); Belichtungsabstand m (при экспонировании); Quasikontakt m (между фотошаблоном и пластиной при фотолитографии) | |||
| Mikrospalt m (Gaist) | |||
| микрозазор: 37 phrases in 3 subjects |
| Electronics | 6 |
| Microelectronics | 30 |
| Technology | 1 |