 |
радикальное травление
| с
| лазерным
| стимулированием
| радикальное травление | |
| media. | reactive gas species etching |
| с | |
| gen. | offering; the size of; from; from; from; to |
| el. | centi-; second |
| лазерный | |
| gen. | laser |
| стимулирование | |
| gen. | stimulation |
| |||
| reactive gas species etching (химически активными частицами) | |||
| радикальное травление: 3 phrases in 1 subject |
| Microelectronics | 3 |