 |
планаризация
| поверхности
| с применением
| суспензии
| содержащей
| наночастицы
| планаризация | |
| IT | planarization |
| поверхность | |
| gen. | surface; superficies; exteriority; external; upside; envelope |
| tech. | face; finish |
| поверхность S | |
| gen. | S surface |
| с применением | |
| gen. | via use of |
| суспензия | |
| gen. | dispersion |
| OH-содержащие | |
| Makarov. | OH-containing |
| наночастица | |
| perf. | nanopart |
| |||
| planarization | |||
| планаризация: 9 phrases in 4 subjects |
| Makarov | 1 |
| Mass media | 1 |
| Microelectronics | 2 |
| Nanotechnology | 5 |