 |
| |||
| плазмова технологія (1. Загальний термін, застосовуваний до ряду промислового використання плазми, наприклад, травлення напівпровідникових плат, нанесення шару кремнію при виробництві сонячних батарей, нанесення шару діоксиду кремнію при пасивації і активації поверхонь, плавка, зварювання за допомогою плазмової дуги, плазмова хімія. 2. Плазмова технологія заснована на використанні малих, наповнених газом елементів, що випускають світло при проходженні через них електричного струму) | |||