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| Step-und-Repeat-Verfahren m (Additionsverfahren: Verkleinern-Wiederholen); Verfahren zur Herstellung von Wiederholstrukturen | |||
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| im Step-und-Repeat-Verfahren übertragen; schachbrettartig vervielfältigen | |||
| step-and-repeat: 115 phrases in 6 subjects |
| Cultural studies | 3 |
| Electronics | 1 |
| Information technology | 1 |
| Microelectronics | 98 |
| Optics branch of physics | 10 |
| Research and development | 2 |