 |
| |||
| установка проекционного пошагового репродуцирования уменьшенных изображений схем непосредственно на полупроводниковой пластине (без использования матричного фотошаблона) | |||
| установка шагового экспонирования пластины (установка проекционного шагового репродуцирования уменьшенных изображений схем непосредственно на полупроводниковой пластине без использования матричного фотошаблона) | |||
| установка последовательного шагового мультиплицирования; установка последовательного шагового экспонирования | |||
| установка совмещения и последовательного шагового мультиплицирования на пластину | |||
| wafer stepper: 7 phrases in 3 subjects |
| Electronics | 2 |
| Microelectronics | 2 |
| Technology | 3 |