 |
| |||
| изоляция элементов ИС о помощью p-i-n структуры (т.е. с помощью р-n переходов и прослойки из полупроводника собственной проводимости) | |||
| изоляция p-i-n-структурами; изоляция p-i-n- структурами | |||
|
| |||
| изоляция элементов ИС о помощью p-i-n структуры (т.е. с помощью р-n переходов и прослойки из полупроводника собственной проводимости) | |||
| изоляция p-i-n-структурами; изоляция p-i-n- структурами | |||