English ⇄ Russian

fine-line technique stresses
Makarov.	технология ИС с элементами уменьшенных размеров; технология изготовления ИС с элементами уменьшенных размеров
tech.	технология изготовления ИС с уменьшенными размерами элементов; технология ИС с субмикронными размерами элементов (изготовления); технология ИС с уменьшенными размерами элементов (изготовления); субмикронная технология