Terms for subject Nanotechnology containing plasma etching

English	Russian
gas-plasma etching	газоплазменное травление
gas-plasma etching-based nanostructuring	наноструктурирование на основе газоплазменного травления
gaseous plasma etching	газоплазменное травление
ion-plasma etching	ионно-плазменное травление
microwave vacuum-plasma etching	СВЧ вакуумно-плазменное травление
plasma etching-assisted nanopattern transfer	перенос наноструктуры методом плазменного травления
plasma-chemical etching	плазмохимическое травление
plasma-chemical etching facility	установка плазмохимического травления
plasma-chemical etching set	установка плазмохимического травления
plasma-enhanced etching	плазмостимулированное травление
plasma-phase etching	плазменное травление
reactive ion-plasma etching	реактивное ионоплазменное травление
vacuum-plasma etching	вакуумно-плазменное травление