Terms for subject Nanotechnology containing ion beam etching

English	Russian
chemically-assisted ion-beam etching	химическое ионно-пучковое травление
focused ion beam-assisted etching	ФИП-травление
focused ion beam-assisted etching	травление фокусированным ионным пучком
ion-beam etching	ионно-пучковое травление
reactive ion-beam etching	реактивное ионно-пучковое травление