Terms for subject Nanotechnology containing gas etching

English	Russian
gas deposition-etching module	модуль газового осаждения и травления
gas phase etching	газофазное травление
gas-assisted etching	газовое травление
gas-plasma etching	газоплазменное травление
gas-plasma etching-based nanostructuring	наноструктурирование на основе газоплазменного травления
Iow-pressure gas etching	низконапорное газовое травление