Terms for subject Nanotechnology containing Super

English	Russian
super-cold temperature	сверхнизкая температура
super-high sensibility	сверхвысокая чувствительность
super-high-vacuum facility	сверхвысоковакуумная установка
super-large-scale integration	сверхбольшая интегральная схема
super-large-scale integration	интеграция сверхвысокого уровня