Terms for subject Makarov containing etching method

English	Russian
method for etching a dielectric layer over a semiconductor substrate	метод травления диэлектрического слоя на полупроводниковой подложке
powderless etching method	способ одноступенчатого травления
powderless etching method	способ однопроцессного травления
vapor etching method	способ травления металлических пластин парами кислоты