Terms for subject Makarov containing control apparatus

English	Russian
carrier head with local pressure control for a chemical mechanical polishing apparatus	зажимное устройство для полировального станка
cathode current control system for a wafer electroplating apparatus	система управления катодным током установки для гальванопокрытия полупроводниковых подложек
control and measuring apparatus	контрольно-измерительные приборы
control and measuring apparatus	КИП
control apparatus	регулирующий аппарат
modular control apparatus for water treatment system	способ и устройство для управления работой систем для очистки сточных вод
numerical control NC apparatus	устройство ЧПУ