 |
| Russian | English |
| изоляция поликристаллическим кремнием | PCI (polycrystal isolation) |
| монолитная структура с воздушной изоляцией | AIM (air-isolated monolithic (structure)) |
| технология оксидной изоляции ИС | OXIL (oxide-isolation (process)) |
|
| Russian | English |
| изоляция поликристаллическим кремнием | PCI (polycrystal isolation) |
| монолитная структура с воздушной изоляцией | AIM (air-isolated monolithic (structure)) |
| технология оксидной изоляции ИС | OXIL (oxide-isolation (process)) |