 |
| English | Russian |
| sputter-deposition | напыление |
| sputter-deposition | нанесение вещества распылением |
| sputter ion gage | магнитный электроразрядный вакуумметр |
| sputter ion pump | электроразрядный насос |
| sputter-removing | удаление распылением (напр., дефектного слоя с поверхности обработанной детали) |