Terms for subject Microelectronics containing 投

Chinese	Russian
电子束投影装置	установка электронно-лучевой проекционной литографии
缩小式电子束投影系统	установка электронно-лучевой проекционной литографии с уменьшением изображения
薄片的步进式投影曝光装置	установка проекционной литографии с последовательным шаговым экспонированием