Terms for subject Microelectronics containing вакансия

Russian	English
диффузия по вакансиям	substitutional diffusion
комплекс атом кислорода-вакансия	vacancy-oxygen complex
комплекс атом примеси-вакансия	impurity-vacancy complex
кремниевая вакансия	silicon vacancy (MichaelBurov)
напряженная вакансия	strained vacancy (MichaelBurov)
пара примесь внедрения-вакансия	interstitial-vacancy pair
подвижность вакансий	vacancy mobility
процесс перезаполнения кислородных вакансий	oxygen refilling process
центр кремниевых вакансий	SiV center (  MichaelBurov)
центр кремниевых вакансий	silicon vacancy center (  MichaelBurov)