Terms for subject Microelectronics containing x-y

English	Russian
x-y array	матрица с расположением элементов строками и столбцами
x-y location	координаты х-у расположения элемента
x-y plotter	координатограф
x-y plotting machine	координатограф
x-y plotting machine	графопостроитель
x-y-0 stage	трёхкоординатный стол
x-y stage	координатный стол
x-y table	координатный стол
x-y workpiece stage	координатный стол
x-y-z stage	трёхкоординатный стол