Terms for subject Microelectronics containing writing

English	Russian
direct-writing exposure	прямое экспонирование
direct-writing step-and-repeat electron-beam exposure	непосредственное электронно-лучевое экспонирование с мультипликацией (key2russia)
e-beam writing	электронно-лучевое экспонирование (OlgaGast)
electron-beam slice writing	электронно-лучевое формирование рисунка на полупроводниковой пластине
ion-beam writing	ионно-лучевое формирование рисунка
pattern writing rate	скорость формирования рисунка
serial writing	последовательное формирование рисунка
serial-writing technique	метод последовательного формирования рисунка
writing speed	скорость перемещения (луча при электронно-лучевом методе непосредственного формирования рисунка на пластине key2russia)
writing station	записывающее устройство
writing time	время формирования рисунка (key2russia)