Terms for subject Microelectronics containing unloaded

English	German
air lock to the unload chamber	Luftschleuse zur Entladekammer
exit through an unload lock	nach außen durchschleusen
expose to unload time	Zeit von der Belichtung bis zur Entstückung
load-unload position	Lade-Entlade-Stellung
unload cassette	Entnahmemagazin
unload chamber	Entladekammer
unload lock	Entladeschleuse
unload position	Entnahmeposition
unload the substrate from the stage	das Substrat vom Tisch entfernen
unload the wafers from the system	die Wafer der Anlage entnehmen