Terms for subject Microelectronics containing species

English	Russian
chargeless activated species	незаряженные возбуждённые частицы
chargeless activated species	незаряженные активированные частицы
dopant species	легирующие примеси
highly electrophilic etchant species	высоко электрофильная травящая частица
radical species	химические радикалы
volatile species	группа летучих соединений