Terms for subject Microelectronics containing relief

English	Russian
relief depth	глубина рельефа
relief-mask processing	обработка с использованием рельефных масок
stress relief etch	травление для снятия поверхностных напряжений
stress-relief oxide	оксид, уменьшающий механическое напряжение
surface relief pattern	рельеф поверхности
thermal relief pad	теплоотводящая площадка