Terms for subject Microelectronics containing ion

English	Russian
acceptor ion	ион акцепторной примеси
acceptor-impurity ion	ион акцепторной примеси
ad ion	адсорбированный ион
all-ion-bombardment fabrication	изготовление ИС методом ионной имплантации
all-ion-implant process	ионное легирование
all-ion-implant process	ионная имплантация
angled ion implantation	наклонная ионная имплантация
arsenic ion implantation	имплантация ионов мышьяка
blanket ion implantation	сплошная ионная имплантация
cluster ion-beam apparatus	установка осаждения из потока ионизированных молекул
deep ion implantation	глубокая ионная имплантация
depletion ion implant	ионно-имплантированная обедненная область
donor ion	ион донорной примеси
dopant ion	ион легирующей примеси
doping ion	ион легирующей примеси
double ion-implanted process	двукратная ионная имлантация
electron-compensated ion	компенсированный ионный пучок
emitter ion implantation	ионная имплантация для формирования эмиттера
energetic ion bombardment	бомбардировка энергетичными ионами
enhancement ion implant	ионно-имплантированная обогащённая область
field ion microscope	ионно-полевой микроскоп
focused ion-beam lithography	литография с фокусируемым лучом
high-dosage ion implantation	высокодозированная ионная имплантация
high-dose ion implantation	высокодозированная ионная имплантация
high-frequency ion etching	высокочастотное ионное травление
high-level ion implantation	сильная ионная имплантация
high-vacuum ion plating	высоковакуумное ионное осаждение
hydrogen reactive ion etching	реактивное ионное травление в среде водорода
impurity-ion beam	пучок ионов примеси
ion-assisted plasma etching	травление в плазме с ионной бомбардировкой
ion-beam	подвергнуть ионно-лучевой обработке
ion-beam	подвергать ионно-лучевой обработке
ion-beam annealing	ионно-лучевой отжиг
ion-beam assisted reactive etching	реактивное травление с применением ионного пучка (key2russia)
ion-beam cleaning	ионная очистка
ion-beam damage	дефект, вызванный ионной имплантацией
ion-beam deposition	ионно-пучковое осаждение
ion-beam implanter	установка ионного легирования
ion-beam induced surface chemistry	химия реакций на поверхности стимулированных ионным пучком
ion-beam lithography	ионная литография
ion-beam lithography setup	установка ионно-лучевой литографии
ion-beam machine	ионно-лучевая установка
ion-beam machining	ионно-лучевая обработка
ion-beam processing	ионно-лучевая обработка
ion-beam recrystallization	рекристаллизация ионным пучком
ion-beam sputtering system	установка ионно-лучевого распыления
ion-beam stencil mask	шаблон для ионной литографии
ion-beam system	установка ионно-лучевой литографии
ion-beam writing	ионно-лучевое формирование рисунка
ion-bombardment	ионная бомбардировка
ion-bombardment damage	дефект, вызванный ионной бомбардировкой
ion channeling	канализирование ионов
ion cluster	ионный сгусток
ion collimation	коллимация ионов
ion-damaged area	область нарушенная ионной имплантацией
ion-enhanced evaporation	ионно-стимулированное напыление
ion enhancement	ионная стимуляция
ion erosion	ионная эрозия
ion etching station	установка ионного травления
ion evaporation	ионное напыление
ion exchanger	ионообменная установка
ion exposure	ионно-лучевое экспонирование
ion flux density	поток ионов
ion-getter pump	геттеро-ионный насос
ion impact	ионная бомбардировка
ion-implant doping	ионное легирование
ion-implant doping	ионная имплантация
ion-implantation	ионно-имплантированный
ion-implantation doping	ионное легирование
ion-implantation doping	ионная имплантация
ion-implantation dosage	доза имплантированных ионов примеси
ion-implantation fabrication	изготовление ИС ионной имплантацией
ion implantation gettering	геттерирование методом ионного легирования
ion-implantation layer	ионно-имплантированный слой
ion-implantation processing	ионное легирование
ion-implantation processing	ионная имплантация
ion-implantation technique	метод ионной имплантации
ion-implanted channel	ионно-имплантированный канал
ion-implanted contact	контакт, изготовленный ионной имплантацией
ion-implanted dopant	ионно-имплантированная примесь
ion-implanted drain	ионно-имплантированный сток
ion implanted impurity	ионно-имплантированная примесь
ion-implanted oxide isolation	оксидная изоляция с ионно-имплантированными областями
ion-implanted region	ионно-имплантированная область
ion-implanted resistor	ионно-имплантированный резистор
ion-implanted source	ионно-имплантированный источник
ion implanter	установка ионного легирования
ion-induced silicide	ионно-индуцированный силицид
ion-induced surfase reaction	ионностимулированная реакция на поверхности
ion-milled substrate	подложка, подвергнутая ионному фрезированию
ion-plasma sputtering	ионно-плазменное распыление (вовка)
ion plating process	электролитический метод нанесения покрытий
ion-sensitive FET	полевой транзистор, чувствительный к определённым ионам
ion-shower doping	ливневое ионное легирование
ion syslotron resonance	ионный циклотронный резонанс
Kauffman ion beam	пучок ионов из источника кауфмана
low-dosage ion implantation	слабодозированная ионная имплантация
low-dose ion implantation	слабодозированная ионная имплантация
low-energy ion implantation	низкоэнергетическая ионная имплантация
low-level ion implantation	слабая ионная имплантация
magnetron ion etcher	установка магнитронного типа для ионного травления
masked ion implant	ионная имплантация через маску (ssn)
masked ions implantation	ионная имплантация через маску (ssn)
microfocused ion beam	ионный микрозонд
molecular ion implantation	имплантация ионизированных молекул
multiple energy ion implantation	имплантация ионов с различной энергией
n-type impurity ion	ион донорной примеси
n-type ion implantation	имплантация ионов донорной примеси
parent molecular ions	ионы молекул газа-носителя
plasma-assisted ion sputtering	ионно-плазменное распыление (вовка)
post emitter ion implantation	ионная имплантация после формирования эмиттера
post ion-implantation processing	обработка после ионной имплантации
p-type impurity ion	ион акцепторной примеси
p-type ion implantation	имплантация ионов акцепторной примеси
reactive-ion beam	пучок химически активных ионов
reactive-ion etch resistance	стойкость к реактивному ионному травлению (key2russia)
reactive ion etching	реактивное ионное травление
reactive-ion etching	РИТ (RIE – реактивное ионное травление key2russia)
reactive-ion etching	реактивное ионное травление
scanning ion-beam lithography	сканирующая ионная литография
secondary-ion mass spectrometry	масс-спектрометрия на вторичных ионах
self-aligned ion implantation	самосовмещённая ионная имплантация
single-ion implant	однократная ионная имплантация
surface-wide ion implantation	ионная имплантация на всю подложку