Terms for subject Microelectronics containing hydrogen

English	Russian
humid-hydrogen atmosphere	атмосфера влажного водорода
hydrogen passivation	пассивация отжигом в водороде
hydrogen peroxide	пероксид водорода
hydrogen plasma	водородная плазма
hydrogen reactive ion etching	реактивное ионное травление в среде водорода
inert hydrogen	атмосфера инертного газа