Terms for subject Microelectronics containing gas

English	Russian
chlorinated gas plasma	хлоросодержащая газовая плазма
2d hole gas	двумерный дырочный газ
degenerate electron gas	вырожденный электронный газ
dopant gas	газообразная примесь
foreign-gas broadening	примесное уширение
forming gas	формир-газ
gas baking oven	печь для обжига в газовой среде
gas-charge cell	газоразрядная ячейка
gas etch	газообразный травитель
gas handling	распределение технологических газов
gas handling	распределение газов
gas-phase	газофазный
gas-phase	газовая фаза
gas-phase composition	газообразная композиция
gas-phase plasma-assisted etching	газофазное плазмостимулированное травление
gas-phase precursor	газофазный исходный реагент
gas plasma etching	газоплазменное травление (key2russia)
gas-plasma oxidizer	плазменный реактор для оксидирования полупроводниковых пластин
gas scatter	рассеяние частиц в газе
gas scattering	рассеяние частиц в газе
gas-source diffusion	диффузия из газовой фазы
gas-source molecular-beam epitaxy	молекулярно-пучковая эпитаксия из газовых источников
hazardous gas safety	обеспечение безопасности при работе с токсичными газами
high-pressure gas source	газовый источник высокого давления
hot gas bonder	установка пайки струёй горячего газа
hot-gas leveler	устройство для выравнивания струёй горячего газа
hot-gas leveling	выравнивание горячим воздухом
hot gas reflow soldering	пайка оплавлением припоя струёй горячего газа
hot gas soldering	пайка оплавлением припоя струёй горячего газа
hot-gas soldering	пайка горячим газом
impurity gas	газообразная примесь
inert-gas blanket	среда инертного газа
mixed gas	смесь газов
occluded gas	оклюдированный газ
oxygen gas plasma etching	травление в плазме кислорода
oxygen-gas plasma stripping	удаление фоторезиста в кислородной плазме
reactive gas plasma	реактивная газоразрядная плазма
residual gas analysis	анализ остаточных газов
sealing gas	газ-наполнитель
silicon-source gas	газообразный источник кремния
stripping gas	газообразный реактив для удаления
two-dimension electron gas	двумерный электронный газ
two-dimensional electron-gas FET	полевой транзистор с двумерным электронным газом
VLSI-grade gas	газ для производства СБИС
zero-dimensional electron-hole gas	электронно-дырочный газ с нулевой размерностью