Terms for subject Microelectronics containing flow

English	Russian
charge-carrier flow	поток носителей зарядов
control flow graph	управляющий граф
control flow trace	трассировка передач управления
data flow machine	потоковая ЭВМ
data flow trace	трассировка данных
flow calibrator	проточный калибратор
flow-chart	технологическая карта
flow-chart	блок-схема
flow diagram	схема технологического процесса
flow rate	оплавление
flow rate	дефект
flow-rate modulation epitaxy	эпитаксия с модуляцией скорости тока
flow temperature	температура размягчения
laminar flow bench	монтажный стол с ламинарным потоком воздуха
laminar-flow booth	скафандр с ламинарным потоком
laminar-flow booth	бокс с ламинарным потоком
laminar-flow station	рабочее место с ламинарным потоком воздуха
laminar-flow system	система с ламинарным потоком
laminar-flow ultra-clean room	сверхчистое производственное помещение с ламинарным потоком очищенного
layout process flow	маршрут проектирования топологии
leakage flow	течь
liquid-flow calibrator	проточный калибратор
process flow	последовательность технологического процесса
radial-flow plasma etching reactor	плазменный реактор травления с радиальным потоком реактивных
standard process flow	стандартная последовательность технологического процесса (Alex_Odeychuk)
VLSI design flow	маршрут проектирования СБИС
VLSI process design flow	маршрут проектирования СБИС