Terms for subject Microelectronics containing features

English	Russian
design feature	особенность конструкции
feature distortion	искажение топологии (key2russia)
feature size	размер, характеризующий прибор
feature size	размер топологического элемента (key2russia)
mask feature	топологический элемент шаблона
minimum feature	минимальный топологический размер (key2russia)
minimum feature	минимальный размер топологического элемента (key2russia)
profile of etch feature	профиль травления элемента
topographical feature	топологический элемент