Terms for subject Microelectronics containing fabrication

English	Russian
all-ion-bombardment fabrication	изготовление ИС методом ионной имплантации
batch fabrication	изготовление приборов групповой технологией
batch-fabrication line	линия изготовления по групповой технологии
continuous-cycle fabrication	производство с непрерывным циклом
electron-beam fabrication	изготовление ИС по электронно-лучевой технологии
fabrication cycle	технологический цикл
fabrication equipment	технологическое оборудование
fabrication module	производственный модуль
fabrication processing	технология изготовления
fabrication tolerance	производственный допуск
fabrication tolerance	допуск на изготовление
fine-pattern fabrication	формирование рисунка с уменьшенными элементами
high throughput fabrication	крупносерийное производство
high-volume fabrication	крупносерийное производство
IC fabrication sequence	последовательность технологических операций изготовления ИС
ion-implantation fabrication	изготовление ИС ионной имплантацией
large-batch fabrication	крупносерийное производство
laser fabrication	производство лазерной технологией
mask-fabrication technology	технология изготовления шаблонов
mesa-fabrication technique	технология формирования мезаструктур
mesa-epitaxial fabrication approach	мезаэпитаксиальная технология
nanoscale fabrication	формирование структур с нанометровыми размерами элементов
photolitographic circuit fabrication	изготовление ИС фотолитографией
planar fabrication technology	планарная технология
post fabrication isolation	изоляция после изготовления
subtractive-fabrication process	субтрактивная технология
volume fabrication	крупносерийное производство
x-ray fabrication	изготовление ИС рентгеновской фотолитографией