Terms for subject Microelectronics containing exposure

English	Russian
deep-uv exposure	экспонирование дальним ультрафиолетовым излучением
die-by-die pattern exposure	помодульное экспонирование изображений
direct wafer exposure	непосредственное экспонирование полупроводниковой пластины
direct water exposure	непосредственное экспонирование пластины (bobpacino)
direct-write step-and-repeat electron-beam exposure	непосредственное электронно-лучевое экспонирование с мультипликацией (key2russia)
direct-writing exposure	прямое экспонирование
direct-writing step-and-repeat electron-beam exposure	непосредственное электронно-лучевое экспонирование с мультипликацией (key2russia)
electron-beam exposure	электронное экспонирование
electron-beam exposure technology	метод электронного экспонирования
electron-beam exposure technology	метод электронно-лучевого экспонирования
exposure chart	таблица экспозиции
exposure system	установка фотолитографии
exposure system	установка литографии
exposure time	время экспонирования
exposure uniformity	равномерность экспонирования
flood exposure	экспонирование по всему полю
full field exposure	экспонирование на всё поле (полупроводниковой пластины)
full field exposure system	система экспонирования на всё поле (полупроводниковой пластины)
full wafer exposure	одновременное экспонирование всей пластины (key2russia)
full-field exposure	экспонирование на всем поле полупроводниковой пластины
full-wafer exposure	экспонирование на всем поле полупроводниковой пластины
ion exposure	ионно-лучевое экспонирование
laser exposure	лазерное экспонирование
mask alignment and exposure system	установка фотолитографии
mask alignment and exposure system	установка совмещения и экспонирования
mask exposure	экспонирование фоторезистной маски
pattern exposure	экспонирование для получения рисунка
postdevelopment exposure	экспонирование после проявления
proton exposure	протонное экспонирование
sor exposure	экспонирование излучением синхротрона
source of exposure	облучатель
step-and-repeat exposure	последовательное шаговое экспонирование
synchrotron exposure	экспонирование излучением синхротрона
transmission-exposure curve	кривая почернения
ultraviolet exposure	экспонирование УФ-лучом
uv exposure system	установка литографии с использованием ультрафиолетового излучения
uv exposure system	установка литографии с использованием УФ-излучения
variable-shaped electron-beam exposure system	установка электронно-лучевой литографии с изменяемым сечением электронного луча
x-ray exposure	рентгеновское экспонирование
X-ray exposure	рентгеноэкспонирование (резиста key2russia)
x-ray exposure system	установка рентгенолитографии
x-ray exposure system	установка рентгеновской литографии