Terms for subject Microelectronics containing etching

English	Russian
acid etch	травление кислотой
acid etching	травление кислотой
anisotropic etching	анизотропное травление
anode etching	электрохимическое травление
bake-etch-strip line	линия термообработки, травления и снятия фоторезиста
blanket etching	сплошное травление
capacitive electro-chemical etch-stop	размерное электрохимическое стоп-травление (применяется в целях изготовления изделий микромеханики Tigerforce)
caustic etch	травление щёлочью
chemically assisted etching	химически стимулированное травление
crystallographically sensitive etching	анизотропное травление
crystal-orientation dependent etch	анизотропное травление
crystal-orientation dependent etch	анизотропный травитель
cylindrical plasma etching reactor	цилиндрический плазменный реактор
cylindrical plasma etching reactor	барабанный плазменный реактор
deep-etch hole	отверстие, сформированное глубоким травлением
differential etching	дифференциальное травление
digital etching	травление дискретными порциями
diode etching	ионное травление в двухэлектродной системе
dip etch	травление методом погружения
directional etch	направленное травление
directional etch method	метод направленного травления
dislocation etching	травление для выявления дислокаций
dry chemical etching technology	технология сухого травления
dry etch	сухое травление (serrgio)
electron-beam induced etching	травление, стимулированное электронным лучом
etch away	стравить
etch away	стравливать
etch into	вытравить
etch into	вытравливать
etch melt	травильный расплав
etch out	вытравить
etch polishing	химическая полировка травлением
etch-resist	стойкий к травителю
etch-resistant	стойкий к травителю
etch-separated wafer	полупроводниковая пластина, разделяемая на кристаллы методом
etch tank	травильная ванна
etching anisotropy	анизотропия травления
etching bias	стенка травления (key2russia)
etching material	травитель
etching of window	вскрытие окна травлением (key2russia)
etching of window	травление окна (key2russia)
etching of window	травление контактного окна (key2russia)
etching pattern layout	конфигурация фигуры травления
etching ratio	отношение скоростей травления (маскирующего покрытия и полупроводника)
etching system	установка травления
excessive etching	перетравливание
gas etch	газообразный травитель
gas plasma etching	газоплазменное травление (key2russia)
gaseous etch	газообразный травитель
gas-phase plasma-assisted etching	газофазное плазмостимулированное травление
high-frequency ion etching	высокочастотное ионное травление
hydrogen reactive ion etching	реактивное ионное травление в среде водорода
ion etching station	установка ионного травления
ion-assisted plasma etching	травление в плазме с ионной бомбардировкой
ion-beam assisted reactive etching	реактивное травление с применением ионного пучка (key2russia)
isotropic etching	изотропное травление
laser radical etching	радикальное травление с лазерным стимулированием
laser-enhanced etching	лазерно-стимулированное травление
laser-induced pattern projection etching	лазерно-стимулированное проекционное травление
lateral etch component	горизонтальная составляющая травления
lateral etching	травление в горизонтальном направлении
lift-off etching	обратная фотолитография
light-induced etching	фотостимулированное травление
low-pressure etching	травление в газовой плазме низкого травления
maskless etching	безмасочное травление
maskless laser etching	безмасочное лазерно-стимулированное травление
metal etch resist	резист для литографии по металлическим плёнкам
metallization etching mask	фотошаблон для соединительной металлизации
microwave etching	травление в свч-плазме
mild etching	слабое травление
orientation dependent etch	анизотропный травитель
orientation dependent etch	анизотропное травление
orientation-dependent etching	анизотропное давление
over-etching	перетравление (key2russia)
over-etching	подтравливание (key2russia)
over-etching	перетравливание (key2russia)
oxide etch	травитель для оксида
oxide etch	травление оксида
oxygen gas plasma etching	травление в плазме кислорода
permeation etching	проникающее травление
photochemical etching	фотохимическое травление
photoelectrochemical etching	электрохимическое травление с оптическим стимулированием
photo-enhanced chemical dry etching	фотостимулированное химическое сухое травление
photoexcited etching	фотовозбуждаемое травление
photo-initiated etching	фотостимулированное травление
planar plasma etch	плазменное травление в планарном реакторе
planar-plasma etching reactor	планарный реактор для плазменного травления
plasma enhanced dry etch	плазменное сухое травление (eltech.com serrgio)
plasma etch chemistry	плазмохимическое травление
plasma etch cleaning	очистка плазменным травлением
plasma-etching chamber	камера для плазменного травления
plasma etching reactor	плазменный реактор травления
post etching	послетравление
pre-etch hardbaker	устройство для задубливания фоторезиста перед травлением
preferential etching	селективное травление
preferential etching	избирательное травление
preferential etching	направленное травление
profile of etch feature	профиль травления элемента
radial-flow plasma etching reactor	плазменный реактор травления с радиальным потоком реактивных
radical etching	радикальное плазмохимическое травление
radical plasma etching	радикальное плазмохимическое травление
radio-frequency plasma etching	высокочастотное плазменное травление
reactive ion etching	реактивное ионное травление
reactive sputter etching	травление методом реактивного распыления (key2russia)
reactive-ion etch resistance	стойкость к реактивному ионному травлению (key2russia)
reactive-ion etching	РИТ (RIE – реактивное ионное травление key2russia)
reactive-ion etching	реактивное ионное травление
regenerative etching	травление с регенерацией травителя
resistless etching	травление без фоторезистной маски
resistless etching technology	технология литографии без применения резисторов
sharp etching	травление, обеспечивающее получение ровных острых краёв
sideways etching	травление в горизонтальном направлении
sideways etching	травление в боковом направлении
silicon etch solution	жидкий травитель для кремния
single-step laser etching	одностадийное лазерное травление
sputter-etch technique	травление методом реактивного распыления (key2russia)
sputter etching	реактивное травление (травление методом реактивного распыления key2russia)
steady-state etching	травление с постоянной скоростью
step etch	вытравливание ступенек
stop-etch material	материал, препятствующий травлению
stress relief etch	травление для снятия поверхностных напряжений
synchrotron radiation-assisted etching	травление, стимулированное синхротронным излучением
taper etching	вытравливание конусных профилей
tetrode etching	ионное травление в четырёхэлектродной системе
trench etch	вытравливание канавок
trench-etch technique	метод вытравливания канавок
triode etching	ионное травление в трёхэлектронной системе
uv laser etching	лазерно-стимулированное травление в УФ-диапазоне
vacuum ultra-violet-assisted etching	травление, стимулированное излучением в области вакуумного ультрафиолета
vertical etching	анизотропное травление
v-groove etch	вытравливание и-образной канавки
vuv-assisted etching	травление, стимулированное излучением в области вакуумного ультрафиолета
wet chemical etching	жидкостное химическое травление (key2russia)
wet etch	жидкий травитель
wet etch processor	установка для жидкостного травления
window etching	травление контактных окон (key2russia)
zero-undercut etching	травление без подтравливания