Terms for subject Microelectronics containing e

English	Russian
continuous stage motion e-beam system	установка электронно-лучевой литографии с последовательным экспонированием
direct-write e-beam system	установка электронно-лучевой литографии с непосредственным формированием рисунка
e-beam	электронно-лучевой
e-beam evaporation	электронно-лучевое напыление
e-beam pattern generation	электронно-лучевое формирование структур
E-beam pattern generator	электроннолучевой генератор рисунков (ИС ssn)
e-beam quartz	слой диоксида кремния, сформированный электронно-лучевой обработкой
e-beam writing	электронно-лучевое экспонирование (OlgaGast)
e-h pair	пара "электрон-дырка" (Elofor)
Gaussian-beam e-beam system	установка электронно-лучевой литографии с точечным лучом
shaped-beam e-beam system	установка электронно-лучевой литографии с изменяемым сечением электронного
vector-scan e-beam system	установка электронно-лучевой литографии с векторным сканированием
write e-beam lithography	сканирующая электронно-лучевая литография