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for subject
Microelectronics
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durch
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Abbildung
durch
Elektronenstrahl
imaging by electron beam
Abbildung
durch
Elektronenstrahl
electron-beam imaging
Abscheidung
durch
Zerstäubung
sputter deposition
an jedem Ende
durch
ein Flag begrenzt
bounded at each end by a flag
Anschluß
durch
dünne Verbindungsleiter
fine lead connection
Aufbringen des Dotierungsstoffs
durch
Ausschleudern
application of dopant by spinning
Aufheizung des Substrats
durch
Infrarotstrahlen
infrared heating of the substrate
(IR-Strahlen)
Aufteilung des Waferbildes
durch
schrittweise Projektionsübertragung
partitioning of the wafer image by step-and-repeat projection
Aufzeichnung
durch
Phasenmodulation
phase-modulation recording
Ausbeuteverlust
durch
Defekte
yield loss due to defects
Ausheilen von Frenkel-Defekten
durch
Strahlung
radiation annealing of Frenkel defects
automatische Fehlerkorrektur
durch
einen Mikroprozessor
microprocessor automatic error correction
automatische Fehlerkorrektur
durch
einen Mikroprozessor
microprocessor auto error correction
automatische Justierung
durch
das Objektiv
automatic alignment through the lens
automatische Justierung
durch
Objektiv und Retikel
through-focal-the-lens through-the-reticle automatic alignment
Beaufsichtigung der Elektronenstrahlanlage
durch
einen Vollbeschäftigten
full-time operator attendance at the E-beam machine
Bedienung der Elektronenstrahlanlage
durch
einen Vollbeschäftigten
full-time operator attendance at the E-beam machine
Belastung
durch
Umgebungseinflüsse
environmental stressing
Belichtung
durch
direktes Schreiben
direct-write exposure
Belichtungseffekt
durch
Nachbarschaftsbeeinflussung
proving exposure effect
Beobachtung der Wafermarke
durch
das Retikel
through-focal-the-reticle wafer-mark viewing
Beschichtung
durch
Siebdruck
deposition by screen printing
Beschädigung der Magnetplatte
durch
den Lese-Schreib-Kopf
head crash
Beschädigung
durch
ihre
die
atmosphärische Umgebung
damage from their environment
Beschädigung
durch
Kontakt
contact damage
Beschädigung
durch
Sonden
probe damage
Bilderzeugung
durch
Elektronenstrahl
imaging by electron beam
Bilderzeugung
durch
Elektronenstrahl
generation of patterns by E-beam
Bilderzeugung
durch
Elektronenstrahl
electron-beam imaging
Chipbeschädigung
durch
Handhabung
dice handling damage
Darstellung
durch
zwei Helligkeitsstufen
dual intensity representation
das fehlerhafte Bit
durch
eine entsprechende binäre 1 kennzeichnen
identify the erroneous bit by a corresponding binary 1
das Retikelbild
durch
ein Verkleinerungsobjektiv projizieren
project the reticle image down through a reduction lens
Dateneinfügung
durch
Handschalter
switch insertion
Defektsuche
durch
Vergleich
comparison defect searching
den Chipträger auf dem Keramiksubstrat
durch
Aufschmelzlöten befestigen
attach the chip carrier to the ceramic board by means of solder reflow
den Spalt
durch
das Lampenbild ausfüllen
fill the slit by the lamp image
den Strahl
durch
Daten für Hell- und Dunkeltastung steuern
feed on-off data to the beam
Dezimalzahlen
durch
Binärziffern darstellen
represent decimal numbers by binary digits
die Adresse
durch
logisches UND mit dem Schreibsignal verbinden
AND the address with the write signal
die Bearbeitung der Anforderungen
durch
die Peripherie veranlassen
cause the requests to be executed by peripherals
die belichteten Schaltkreisstrukturen
durch
den Entwickler entfernen
remove the exposed circuit features by the developer
die Belichtung
durch
ein Lichtintegrationssystem steuern
control exposure by a light integration system
die Belichtungszeit
durch
die Scanninggeschwindigkeit steuern
control exposure time by the scan speed
die Chips
durch
Zersägen des Wafers vereinzeln
separate the individual chips by sawing the wafer
die integrierten Schaltkreise
durch
Testchips in ausgewählten Plätzen auf den Wafern ersetzen
substitute the test chips at selected sites for integrated circuits on wafers
die Justierung
durch
alle Maskierungsschritte hindurch aufrechterhalten
keep each of the mask steps aligned
die Kosten der integrierten Schaltungen
durch
Vergrößerung der Funktionsmöglichkeiten verringern
reduce IC costs by increasing the functional capabilities
die Ladungspakete
durch
das Register schieben
shift the charge packets down the register
die Oberflächenatome
durch
Impulsübertragung wegsputtern
sputter away the surface atoms via momentum transfer
die Priorität
durch
Software bestimmen
determine priority by software
(festlegen)
die p-Zonen vom Substratmaterial
durch
eine Verarmungsrandschicht trennen
isolate the p-regions from the substrate material by a depletion layer
die Strahlungsquelle
durch
gespeicherte Daten direkt steuern
control the radiation source directly by stored data
die Struktur
durch
Belichtung einer Resistschicht erzeugen
generate the pattern by exposing a resist coating
die untere Resistschicht
durch
die obere Schicht belichten
expose the bottom resist layer through the top layer
Diffusion
durch
die Epitaxialschicht
diffusion through the epitaxial layer
Diffusionsdotierung
durch
Fenster
diffusion drive-in through windows
Direktbearbeitung der Wafer
durch
Elektronenstrahlen
electron-beam direct processing on wafers
Direktbelichtung der Wafer
durch
Elektronenstrahlen
electron-beam direct processing on wafers
Direktbelichtung des Wafers
durch
Fotorepeater
photo step-and-repeat on wafer
Direktbelichtung von Wafern
durch
die Elektronenstrahlanlage
direct exposure of wafers by the electronbeam system
direkte Beobachtung
durch
das Objektiv
direct through-the-lens viewing
direkte Waferbelichtung
durch
Elektronenstrahlen
direct wafer exposure by E-beams
Direktstrukturierung des Chips
durch
Elektronenstrahlen
electron-beam writing directly on chip
Dotierung
durch
Ionenimplantation
ion implantation doping
durch
Alphateilchen erzeugt
alpha-induced
(Ladungsträger, Strom)
durch
Alphateilchen hervorgerufener Fehler
socket error
(der z. B. durch eine epitaxiale Schutzschicht teilweise vermieden werden kann)
durch
Avalanche-Durchbruch hervorgerufene Wanderung
avalanche-induced migration
(von Materieteilchen)
durch
Bedienereingriff unterbrechen
interrupt by operator intervention
durch
Befehle ausgelöster Abtastimpuls
software-triggered strobe
durch
Beschuß induziert
bombardment-induced
(Prozeß)
durch
den Anwender auswechselbar
field-replaceable
durch
den Fokus gehend
through-focal
durch
den Mikrocomputer abfragen
interrogate by the microcomputer
durch
den pn-Übergang diffundieren
diffuse across the junction
durch
die Grenzschicht diffundieren
diffuse across the boundary layer
durch
die Lichtwellenlänge bedingte Begrenzung der Auflösung
limitation of resolution imposed by the wavelength of light
durch
die Peripherie begrenzt
peripheral-limited
(z. B. hinsichtlich der Verarbeitungszeit)
durch
die Sperrschicht hindurchtunneln
tunnel across the barrier
durch
ein CCD-Register schieben
transfer down a CCD register
(weitertransportieren)
durch
eine Deckschicht hindurchdotieren
dope through a covering layer
durch
eine Erstellungsnummer kennzeichnen
identify by a generation number
durch
eine Polymergrundschicht planarisieren
planarize by a bottom polymer layer
durch
einen Farbpunkt kennzeichnen
identify by an ink dot
durch
einen Isolator fließen
flow across
through
an insulator
durch
einen Schrittmotor antreiben
power by a step motor
durch
elektrische Signale umprogrammieren
reprogram by electrical signals
durch
elektromagnetische Felder fokussieren
focus by electromagnetic fields
durch
Elektronenstrahl strukturieren
pattern by electron beam
durch
elektrostatische Felder beschleunigen
accelerate by electrostatic fields
durch
Entwickeln entfernen
develop out
durch
fotolithografische Verfahren strukturieren
pattern by photolithographic techniques
durch
Glühemission erzeugtes Elektron
thermionically emitted electron
durch
höhere Schaltkreisdichten geforderte kleinere Strukturen
finer geometries demanded by higher circuit densities
durch
Impuls ansteuern
trigger
durch
Impuls ansteuern
clock
durch
Impulse betätigen
pulse
durch
Kontaktbelichtung abbilden
contact-print
durch
Kontaktbelichtung kopieren
copy by contact printing
durch
kurzwelliges UV-Licht löschen
erase by exposure to shortwave ultraviolet light
durch
Laserstrahl ausgeheilt
laser-annealed
durch
Laserstrahl ausgelöster Aufheizmechanismus
laser-annealed-beam induced heating mechanism
durch
Lawineneffekt ausgelöste Materialwanderung
avalanche-induced migration
durch
logisches ODER verbinden
OR
durch
logisches ODER verknüpfen
OR logically
durch
logisches UND verbinden
AND
(verknüpfen)
durch
mechanischen Druck geebnet
flattened by mechanical pressure
durch
Meßverfahren nachweisen
detect by measurement techniques
durch
ODER-Funktion verknüpfen
vergattern
mit
wire-OR to
durch
Plasmaätzen entfernen
remove by plasma etching
durch
Programm laden
load by program
durch
Siebdruck aufbringen
screen on
durch
Steuerimpulse die Spaltenadreßbits in den RAM übernehmen
strobe the column address bits into the RAM
durch
Störstellenleitung bedingte Eigenschaft
extrinsic property
durch
Sägen beschädigt
saw-damaged
(Chips)
durch
Sättigung hervorgerufene Fehler
saturation noise
durch
Taktimpulse steuern
drive by clock pulses
durch
Ureingabe laden
bootstrap
durch
UV-Licht löschbar
ultraviolet-light-erasable
durch
UV-Licht löschbar
ultraviolet-erasable
durch
Vakuum angesaugt
vacuum-clamped
durch
Vakuum angesaugt
vacuum-chucked
durch
Zerstäubung aufbringen
deposit by sputtering
(beschichten)
durch
äußeren Eingriff unterbrechen
interrupt by external intervention
Durchgang
durch
den Diffusionsofen
pass through the diffusion furnace
Durchqueren des pn-Übergangs
durch
einzelne Ladungsträger
crossing of the junction by individual carriers
Eindiffundierung
durch
Fenster
diffusion drive-in through windows
Eindringen der Feuchtigkeit
durch
die Al-Bondinsel
moisture penetration through the aluminium pad
eine kleine Grundladungsmenge
durch
das Bauelement durchschieben
propagate a small zero-level charge through the device
eine Maskenstruktur
durch
serpentinenförmiges Abrastern erzeugen
form a mask pattern by scanning a raster in a serpentine manner
eine Spaltenadresse
durch
Strobe-Signal in die Speicherauswahllogik übergeben
strobe a column address into the memory selection logic
eine Struktur in einer Kontaktbelichtungsanlage
durch
eine Chromschablone belichten
expose a pattern in a contact printer through a chrome mask
einen Schaltungsentwurf
durch
Softwareprogrammierung realisieren
compile a design
einen Wafer schrittweise
durch
200 Felder strukturieren
pattern a wafer by stepping through 200 fields
Eingriff
durch
den Operateur
operator intervention
Elektronen
durch
thermische Emission injizieren
inject electrons through thermal emission
Elektronendurchtunnelung
durch
die gleichrichtende Sperrschicht der MIS-Struktur
electron tunnelling through the MIS rectifying barrier
Elektronendurchtunnelung
durch
die gleichrichtende Sperrschicht der MIS-Struktur
electron tunneling through the MIS rectifying barrier
Entfernung des löslicheren Materials
durch
den Entwickler
removal of the more-soluble material by the developer
Fehler
durch
Störung in der Anlage
hang error
Fehler
durch
Teilchenverunreinigung
fault due to particulate contamination
Fertigung hochintegrierter Schaltkreise
durch
Planartechnik
fabrication of large-scale integrated circuits by planar technology
Fotomaskenschutz
durch
genau dimensionierte Membranen
photomask protection by properly designed pellicles
Frequenzwandlung
durch
Überlagerung
heterodyne conversion
Gasplasmaerzeugung
durch
Hochfrequenzentladung
gas plasma generation by radio-frequency discharge
Gettern
durch
Diffusion
diffusion gettering
Gettern
durch
Ionenimplantation
ion implant gettering
gleichmäßig
durch
das Oxid verteilt
uniformly distributed across the oxide
große Strukturen
durch
Bildfeldmontage zusammensetzen
photocompose large area patterns
Halbleiterbearbeitung
durch
direktes Schreiben
semiconductor fabrication by direct write
Herstellung von Originalfotoschablonen
durch
direkte Computersteuerung
fabrication of master photomasks directly from computer data
Hervorhebung
durch
größere Helligkeit
dual intensity representation
(auf dem Bildschirm)
Härtung
durch
Mikrowellenheizung
microwave baking
Härtung
durch
Mikrowellenheizung
microwave bake
Identifizierung
durch
Lichtstift
light-pen detection
Ionenbeschleunigung
durch
Gitter
ion acceleration through grids
Isolation
durch
Oxidschicht
oxide isolation
Isolation
durch
vergrabenes Oxid
buried oxide isolation
Isolation
durch
vergrabenes Oxid
box isolation
Justierung
durch
das Objektiv
through-focal-the-lens alignment
Kante
durch
anisotropes Ätzen
anisotropic edge
kapazitive Kopplung
durch
das Substrat
capacitive coupling through the substrate
Kontaktlöcher
durch
das Oxid zum Polysilizium öffnen
open contact holes through the oxide to the polysilicon
Kontrolle des Anlagenbetriebs
durch
den Benutzer
user control of system operation
Kurzschlußbildung
durch
die Sperrschicht
spiking through the junction
(infolge verstärkter Diffusion des Kontaktmetalls)
Kühlung auf Chipebene
durch
Wärmeableitung
conduction cooling at the chip level
Lackentfernung
durch
Plasmaeinwirkung
ashing
Lithografie mit globaler Waferbelichtung
durch
1:1-Projektion
1:1 full-wafer lithography
Löcherdurchtunnelungsprozeß
durch
die gleichrichtende Sperrschicht der Metall-Isolator-Halbleiter-Struktur
hole tunnelling process through the MIS rectifying barrier
Löcherdurchtunnelungsprozeß
durch
die gleichrichtende Sperrschicht der Metall-Isolator-Halbleiter-Struktur
hole tunneling process through the MIS rectifying barrier
Maskenjustierung
durch
ein Objektiv im Projektionsverfahren
project mask alignment through a lens
Maskenstrukturen
durch
Kontaktbelichtung auf Wafer übertragen
contact-print masks onto wafers
Masseschluß
durch
Lötmittel
solder ground
mathematisch
durch
ein Polynom darstellen
represent mathematically by a polynomial
Mikroherstellung von Submikrometerelementen
durch
Direktbelichtung
microfabrication of submicron devices by direct writing
Mikrostrukturherstellung
durch
Elektronenstrahlen
electron-beam microfabrication
Modulation
durch
eigene Impulse
self-pulse modulation
Montage
durch
Einstecken in Leiterplattenlöcher
mounting by plugging into holes in p.c. boards
Multiplexbetrieb
durch
Zeitverschachtelung
time-division multiplexing
nur
durch
Ionenimplantation hergestellt
all-implanted
(Transistor)
näherungsweise
durch
den Ausdruck darstellen
approximate by the expression
Prioritätssteuerung
durch
Kaskadierung
daisy chain priority logic
Problembearbeitung
durch
mehrere Rechenwerke
multiprocessing
Produktionsautomatisierung
durch
Mikrocomputer
microcomputer production automation
Profilermittlung
durch
Bahnwiderstandsmessung
spreading resistance profiling
Programmierbarkeit
durch
den Anwender
user programmability
Programmierung
durch
feste Schaltung
fixed-wired programming
(von Bauelementen)
Programmstopp
durch
Dauerschleife
hang caused by the program looping continuously
Projektion
durch
Elektronenbestrahlung
electron-beam illumination projection
prozeßbezogene Parameter
durch
elektrische Tests gewinnen
extract process-related parameters through electrical tests
Prüfung
durch
den Programmierer
programmer check
Querschnitt
durch
einen Goldbondhügel
gold bump cross section
regelmäßige Bildfelder
durch
Verkleinerung mit einem Fotorepeater herstellen
produce arrays of images by photoreduction with a step-and-repeat camera
Röntgenstrahlen
durch
die Absorbermarken durchlassen
transmit X-rays through the absorber marks
Röntgenstrahlen
durch
die Absorbermarken hindurchlassen
transmit X-rays through the absorber marks
Röntgenstrahlenerzeugung
durch
Elektronenbeschuß
X-ray generation by electron bombardment
Schablone und Wafer
durch
einen gleichmäßigen Abstand trennen
separate photomask and wafer by uniform gap
Schutz
durch
Membranen
pellicle protection
Selektierung
durch
Voralterung
burn-in-in screening
Selektierung
durch
Voralterung
burn-in-in screen
selektive Dotierung
durch
Strukturierung
selective doping by patterning
serielle Durchleitung eines Signals
durch
alle Teilprozesse
daisy chaining
sich stets wiederholender und nicht
durch
Überschreiben behebbarer Fehler
hang error
Simultanbonden aller Rahmenanschlüsse
durch
Thermokompression
thermocompression-bonded gang bond of all lead frame fingers
(an den Bondhügeln des Chips)
Spannung
durch
chemische Störstellen
stress due to impurities
Steuerung des Anlagenbetriebs
durch
den Benutzer
user control of system operation
Steuerungsübergabe
durch
bedingten Sprungbefehl
conditional transfer of control
Stopp
durch
Dauerschleife
hang caused by the program looping continuously
Strom
durch
den Übergang
junction current
Strukturen
durch
"Auspinseln" belichten
expose geometries by "painting them in"
(Rasterelektronenstrahllithografie)
Strukturen
durch
wiederholte Herstellung von Teilfeldern zusammensetzen
build up patterns by repeated generation of subfields
Strukturerzeugung
durch
Elektronenstrahl
generation of patterns by E-beam
Strukturerzeugung
durch
Mikrosputtering
pattern formation by microsputtering
(mit Ionenstrahl)
Strukturierung
durch
Belichtung
photodelineation
(von Wafern im Stepund-Repeat-Verfahren)
Strukturübertragung
durch
Röntgenstrahlen mit hoher Auflösung
high-resolution X-ray printing
Synchronisation
durch
Quittungsbetrieb mit aktivem Warten
handshaking with busy waiting
Teilung
durch
Null
division by zero
Transport des Siliziums
durch
die Silizidschicht
transport of silicon through the silicide layer
Trocknung
durch
Mikrowellenheizung
microwave baking
Trocknung
durch
Mikrowellenheizung
microwave bake
Umwandlung von Energie
durch
eine Sperrschichtfotozelle
photovoltaic energy conversion
Unschärfe
durch
Beugungseffekte
diffraction blurring
Unschärfe
durch
die endliche Größe der Strahlungsquelle
blur due to the finite source size
Unterbrechung der Verarbeitung
durch
Anlagenausfall
interruption of processing by a system failure
Unterbrechungen
durch
höhere Prioritäten
priority interrupts
Unterteilung des Waferbildes
durch
schrittweise Projektionsübertragung
partitioning of the wafer image by step-and-repeat projection
Verschlechterung
durch
die atmosphärische Umgebung
degradation from the environment
vertikal nach unten
durch
die Epitaxieschicht fließen
flow vertically down through the epi-layer
Verunreinigung
durch
Übergangsmetalle
transition metal impurity
Vervielfachung
durch
Lawinen
avalanche multiplication
Vielfachzugriff
durch
Zeitverschachtelung
time-division multiple access
Wafer
durch
Vakuum auf eine plane Unterlage ansaugen
pull the wafer on to a flat substrate with a vacuum den
Wärme ableiten
durch
conduct heat away through
Wärmeübertragung
durch
Konvektion
convective heat transfer
Wärmeübertragung
durch
Nebenschluß
heat shunting
Wärmeübertragung
durch
Strahlung
radiation heat transfer
Zerstäubung
durch
Impulsübertragung
sputtering by momentum transfer
Übertragung
durch
Fernschreibleitungen
transmission by telegraph lines
Get short URL