Terms for subject Microelectronics containing discharge

English	Russian
discharge cell	разрядная ячейка
discharge of holes	рассасывание дырочных зарядов
discharge products	вещества, образующиеся при электрическом разряде
electro-discharge machining	микрообработка электрическим разрядом (Технология удаления материала вследствие эрозийного воздействия Doctorvadim)
electron-discharge machining	электронно-искровая обработка
extended discharge	протяжённый разряд (вовка)
glow discharge	тлеющий заряд
glow-discharge	тлеющий разряд
glow-discharge plasma	плазма тлеющего разряда
glow-discharge silicon	кремний, полученный в тлеющем разряде
glow-discharge spectrometry	спектрометрия тлеющего разряда
glow discharge sputtering	распыление тлеющим разрядом
magnetron plasma discharge source	источник из плазмы магнетрона
oxygen plasma discharge source	источник кислорода из кислородной плазмы
oxygen plasma discharge source	плазменный источник кислорода
pulse-periodic discharge	импульсно-периодический разряд
Townsend discharge	таунсендовский разряд