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Terms
for subject
Microelectronics
containing
denen
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all forms
German
English
Abstand zwischen
den
Bondinseln
spacing between bond pads
Abstand zwischen
den
Chips
inter-die spacing
Abstand zwischen
den
Energiebändern
energy gap
Abstand zwischen
den
Leitungen
interwire spacing
Abstand zwischen
den
Objektiven
inter-objective spacing
als erste Anwärter für
die
Auslagerung in den Großspeicher kennzeichnen
flag as prime candidates for swapping back to mass storage
an
den
Eingängen der Leiterplatten empfangen
receive at the inputs of the printed circuit boards
an
den
Stirnseiten angelötet
side-brazed
(Gehäuseanschlüsse)
Anwendung
der
direkten Strukturübertragung auf den Wafer
direct-step-on-wafer application
Anzeigelampen für
den
Operateur
operator-indicator lights
Anzeiger für
den
Haltzustand
halt indicator
Arbeitsspeicher für
den
Arbeitsbereich der ALE
workspace register
auf
den
Datenbus leiten
gate onto the data bus
(z. B. einen Befehl)
auf
den
neuesten Stand bringen
update
auf
den
Sollwert trimmen
trim to the desired value
auf
den
Speicher zurückübertragen
transfer back to memory
auf
den
Wafer kopieren
print onto the wafer
Auflösung von Resiststrukturen bis in
den
Submikrometerbereich
definition of resist patterns down to submicron dimensions
Aufruf an
den
Ablaufteil
executive level command
aus
der
Entwicklungsphase in den Produktionsbetrieb überführen
take from laboratory to production line operation
Ausdehnung
der
VLSI-Technik in den Submikrometerbereich
extension of VLSI technology into submicrometre geometries
ausgewählte Daten für
den
Bediener zur Sichtkontrolle ausgeben
output selected data to the operator for visual inspection
Ausrichtung
der
Zwischenträger zu den Bondhügeln der Chips
alignment of the tape leads to the chip bumps
Außenanschluß an
den
integrierten Schaltkreisbaustein
external connection to the integrated circuit package
Bauelementstrukturen bis in
den
100-Ä-Bereich herstellen
fabricate device structures down to the 100 Ä range
Beschädigung
der
Magnetplatte durch den Lese-Schreib-Kopf
head crash
Beugung des Lichts an
den
Kanten der Strukturelemente
diffraction of light at the edges of features in the patterns
Beugungserscheinungen an
den
Kanten
diffraction phenomena along edges
Bindungen zwischen
den
Polymermole külen auflösen
break bonds between the polymer molecules
chemische Beschichtung aus
der
Gasphase
chemical vapour deposition
(CVD)
das
Bild auf den Wafer übertragen
reproduce the image on the wafer
(kopieren)
das
Bild der Schablone im Verhältnis 1:1 auf den Wafer projizieren
project the image of the mask at one to one magnification on to the wafer
das
Bild von der Maske auf den Fotolack projizieren
project the image from a mask onto a photosensitive resist
das
Chip auf den Montagesockel bonden
bond the chip to the header
das
Ergebnis in den Akkumulator zurückbringen
place the result back into the accumulator
das
Ergebnis in den Speicher zurückbringen
return the result to memory
das
fertige Chip umgekehrt in den Keramikträger einsetzen
invert the completed chip into the ceramic carrier
das
Fotoresist auf der Oberfläche eines Wafers mit den Strukturen eines Retikels belichten
expose the photoresist on the surface of a wafer to the patterns on a reticle
das
Fotoresist nur in den nichtbelichteten Flächen stehenlassen
leave photoresist only in those areas not exposed
das
Layout entsprechend den Grundregeln zusammensetzen
synthesize the layout in accordance with the ground rules
das
Layout für den Computer in Form seiner Strukturanordnung beschreiben
describe the layout to the computer in terms of its geometry
das
Maskenbild auf den resistbeschichteten Wafer projizieren
irradiate a mask onto the resist-coated wafer
das
Maskenbild auf den Wafer abbilden
image the mask onto the wafer
das
Programm in den Programmspeicher über
den
Fernschreiber laden
load the program into the program memory via the teletype
das
Programm in den Rechner einsetzen
insert the program into the calculator
das
Resist gleichmäßig auf den Wafer mit hoher Geschwindigkeit aufschleudern
apply the resist evenly by spinning the wafer at high speed
das
Retikel in den Retikeltisch einlegen
insert the reticle into the reticle stage
das
Signal zwischen den Abtastwerten mitteln
average the signal between samples
das
Substrat gegen den Strahl neigen
tilt the substrate to the beam
Daten in
den
Speicher einlesen
read data into memory
Daten in
den
Speicher einschreiben
write data into the memory
Daten in
den
Stapelspeicher eingeben
push data into the stack
Daten zurück in
den
Fremdspeicher schreiben
write data back to external memory
Daten über
den
Bus erhalten
receive information on the bus
Daten über
den
Bus übertragen
transmit information on the bus
Daten über
den
Eingangsbus in den Mikroprozessor senden
send information to the microprocessor via the input bus
Datenübertragung über
den
Kanal
data transmission through the port
defektbehaftete Einzelbilder in
den
Verband einfügen
insert defective dice into the array
den
Abtastraster verschieben
shift the scanned raster
den
A-D-Umsetzungsprozeß einleiten
initiate the A-D conversion process
den
Akkumulatorinhalt in den A-D-Wandler einschreiben
write the accumulator contents into the A-D converter
den
Anschluß mit dem Sockelkontakt herstellen
connect with the socket contact
den
Anschlußkammstreifen unter dem Bondwerkzeug in x- und y-Richtung positionieren
locate the lead frame pattern under the bonding tool in the x and y directions
den
Ansprüchen der Staubklasse 10000 gerecht werden
satisfy the Class-10,000 requirements
den
Ausgang auf logisch Eins setzen
set the output to a logic 1
den
Ausgang auf logisch Null zurücksetzen
reset the output to a logic 0
den
Ausgang rückkoppeln
feed back the output
den
Austausch bewirken
effect the swap
den
auszuführenden Befehl angeben
specify the instruction to be performed
den
Befehl an das Mikrosteuergerät zur Auswahl des entsprechenden Substrats geben
command the microcontroller to select the appropriate substrate
den
Befehl aufnehmen
pick up the instruction
den
Befehl erteilen an
command
den
Befehl in das Befehlsregister eingeben
load the instruction into the instruction register
den
Befehl wiederholen
retry the instruction
den
Befehlsablauf fortsetzen
resume the instruction cycle
den
Befehlszyklus wiederaufnehmen
resume the instruction cycle
den
begrenz ten Speicherplatz belasten
tax the limited memory space
(in Anspruch nehmen)
den
Belichtungsabstand einstellen
adjust the exposure gap
den
24-Bit-Befehl aus den einzelnen Bytes rekonstruieren
rebuild the 24-bit instruction from the separate bytes
den
Bitscheibenprozessor mit langsameren Peripheriegeräten koppeln
hook the bit-slice processor to slower peripherals
den
Bus aufgeben
relinquish the bus
den
Chipbaustein aus dem Zwischenträgerfilm ausschneiden
cut the die unit from the tape
den
Chipträger auf dem Keramiksubstrat durch Aufschmelzlöten befestigen
attach the chip carrier to the ceramic board by means of solder reflow
den
Chipträger mit der Oberseite nach unten einsetzen
mount the chip carrier face down
(montieren)
den
Chipträger mit Lötkontakthügeln versehen
solder-bump the chip carrier
den
Datenfluß vom Bus zur Empfangsstation selektiv durchsteuern
gate selectively the flow of information from the bus to the acceptor
den
Defekt lokalisieren
pinpoint the defect location
den
Detektorausgang in periodischen Zeitabständen abtasten
sample periodically the sensor output
den
Dotierungsstoff dem Gasstrom beimengen
introduce the dopant into the mainstream
den
Drucker einschalten
activate the printer
den
Durchsatz mit Paralleloperationen maximieren
maximize throughput with parallel operations
den
Effekt rückgestreuter Elektronen verringern
minimize the effect of backscattered electrons
den
effektiven Durchmesser eines fokussierten Strahls vergrößern
broaden the effective size of a focussed beam
den
Einsprung in das Maschinenprogramm bei Programmende erzwingen
force entry to the end-of-run routine
den
Elektronenstrahl auf eine nutzbare Größe für die Mikrostrukturherstellung verkleinern
demagnify the electron beam to a usable size for microfabrication
den
Elektronenstrahl in einem beliebigen Punkt hell- oder dunkeltasten
switch the electron beam on or off at any point
den
Elektronenstrahl rasterartig in einer Richtung ablenken
deflect the electron beam in a raster mode along one axis
den
Elektronenstrahl rasterförmig über ein Feld von 64 μm × 64 μm ablenken
deflect the electron beam in a raster over a 64μm square field
den
Elektronenstrahl schrittweise um 0,5 μm in x-Richtung führen
step the electron beam by 0.5 μm in the x-direction
den
Emitter mit dem Kollektor kurzschließen
short the emitter to the collector
den
Entwurf in fortschreitend kleinere Funktionsblöcke unterteilen
decompose the design into successively smaller blocks
den
Entwurf zeilenweise prüfen
verify the design on a cell-by-cell basis
den
Entwurfsregeln für eine bestimmte Fertigungseinrichtung entsprechen
meet the design rules for a particular fabrication facility
den
erforderlichen Ausgangslastfaktor erreichen
achieve the required fan-out
den
ermittelten Koordinatentischfehler aufheben
nullify the sensed X-Y table error
den
Fehler einengen auf
narrow the fault down to
den
Fehler feststellen
localize the fault
(eingrenzen)
den
Fehler schnell einkreisen
locate the trouble rapidly
den
fehlerlosen Zustand wiederherstellen
recover from errors
den
Fehlerzustand auf einen einzigen Fehler zurückführen
reduce the fault to a single error
den
fokussierten Ionenstrahl über den lackbeschichteten Wafer ablenken
deflect the focussed ion beam across the resist-coated wafer
den
Fotolack auf der Scheibe belichten
expose the photoresist on the wafer
den
ganzen Wafer auf einmal belichten
flood expose the entire wafer
den
genauen Chipabstand in bezug auf das Perforationsloch einhalten
retain the accurate chip spacing with respect to the sprocket hole
den
geprüften Wafer auf einem ebenen Substrat aufbringen
mount the probed wafer on a flat substrate
den
Gesamtprogrammablauf verlangsamen
slow down the overall program flow
den
gleichmäßigen Zustand gewährleisten
control
den
größeren Prozessor entlasten
save time on the larger processor
den
größten Teil des Entwicklers wegschleudern
spin off most of the developer
den
Hauptmikroprozessor entlasten
lighten main microprocessor load
den
hermetisch abgedichteten Chipträger aus dem Entwicklungsstadium in die Produktion überführen
bring the hermetic chip carrier from the development stage to production
den
Inhalt der Adresse in den Eingangsbus senden
send out the contents of the address onto the input bus
den
Inhalt der Mikroprozessorregister retten
save the contents of microprocessor registers
den
Inhalt der Mikroprozessorregister umspeichern
restore the contents of microprocessor registers
den
Inhalt der Speicherzelle auffrischen
refresh the contents of the memory cell
den
Inhalt des RS-Flipflops lesen
read the contents of the latch
den
Inhalt einer Speicherzelle ändern
modify the contents of a storage location
den
Inhalt eines Speicherbereichs auf einen Hilfsspeicher übertragen
copy the contents of a memory area to a backing store
den
Inhalt eines Speichers auslesen
read out the contents of a memory
den
Inhalt im Hilfsspeicher Zwischenspeichern
dump the contents to a backing store
den
Inhalt neu erstellen
regenerate the contents
den
Inhalt um eine Position nach rechts verschieben
transfer the contents one position to the right
den
Inhalt zur späteren Verwendung zurückgewinnen
recover the contents for later use
den
Inhalt über den internen Bus zum Befehlszähler zurückgeben
return contents via internal bus to the program counter
den
Ionenstrahl durchqueren
cross through the ion beam
den
Kanal drainseitig abschnüren
pinch the channel off at the drain end
den
Kanal in seiner gesamten Länge einschnüren
narrow the channel over its entire length
den
Kondensator entladen
discharge the capacitor
den
Koordinatentisch ansteuern
drive the X-Y stage
den
Koordinatentisch mit einer Genauigkeit von 0,01 μm positionieren
position the X-Y stage with an accuracy of 0.01 μm
(einstellen)
den
Koordinatentisch steuern
drive the X-Y stage
den
Kunden über eine Telefonleitung mit der Anlage verbinden
link the customer to the system via a telephone line
den
Mikrocomputer von zeitraubenden Aufgaben befreien
relieve the microcomputer of time-consuming tasks
den
Mikroprozessor abschalten
shut down the microprocessor
den
Mikroprozessor in mehrere Bereiche aufteilen
split the MPU into several sections
den
Mikroprozessor stoppen
halt the microprocessor
den
Mikroprozessortakt dehnen
stretch the microprocessor clock pulse
den
Mikroskopkopf ausschwenken
swing the microscope head out of the way
(aus dem Belichtungsstrahlengang)
den
MOSFET-Schalter schließen
close the MOSFET switch
den
normalen Betrieb in der Unterbrechungsstelle wiederaufnehmen
resume ordinary operation from the point of the interrupt
den
normalen Betrieb wiederaufnehmen
resume normal operation
den
nächsten Befehl empfangen
receive the next instruction
den
nächsten Befehl holen
fetch the next instruction
den
Operateur im Waferhandhabungsprozeß in größtmöglichem Maße ausschalten
eliminate the operator in the wafer handling process to the greatest extent possible
den
Programmablauf mit der Echtzeit synchronisieren
synchronize the program execution with real time
den
Programmen zugewiesene Stammbereiche
storage areas assigned to programs
den
Prozessor in kleinere Bauelemente aufteilen
break down the processor into smaller elements
den
Prozessor über einen Anschlußadapter an das Fernsprechnetz anschließen
connect the processor through an adapter to the telephone network
den
Querschnitt verringern
neck
den
Radixpunkt in einer bestimmten vorgewählten Stelle setzen
locate the radix point at a fixed predetermined position
den
Rechner vom Fernbedienungsplatz aus über Telefonleitungen diagnostizieren
diagnose the computer from a remote site over telephone lines
(prüfen)
den
rechteckigen Querschnitt
des Elekronenstrahls
zwischen 0,1 und 12 μm Kantenlänge variieren
vary the rectangular cross section between 0.1 and 12 μm on a side
den
Schalter für logische Eins schließen
close the switch for logic one
den
Schalter für logische Null öffnen
open the switch for logic 0
den
Schaltkreis aus dem Filmträger ausstanzen
punch the circuit from the film carrier
den
Schaltkreis nach seiner Herstellung prüfen
test the circuit after fabrication
den
Schaltkreis optimieren
optimize the circuit
den
Schreibschaltkreis aktivieren
activate the write circuitry
den
sicheren Sitz der Leiterplatte in der Steckverbindung gewährleisten
keep the board securely seated in the connector
den
Spalt durch das Lampenbild ausfüllen
fill the slit by the lamp image
den
Speicher beschreiben
write to memory
den
Speicherbefehl in drei Acht-Bit-Bytes aufteilen
split up the store instruction into three 8-bit bytes
den
Speicherinhalt als Ausdruck ausgeben
dump the contents as a printout
den
Speicherinhalt löschen
erase the contents of the memory
den
Speicherinhalt wiederholt aktualisieren
update repeatedly the memory contents
den
Speicherinhalt zerstören
destroy the contents of the memory
(löschen)
den
Speicherinhalt ändern
alter the contents of the memory
den
Status über einen speziellen Hilfsbus abfragen
interrogate the status via a special support bus
den
Strahl austasten
blank
off
the beam
den
Strahl automatisch justieren
align the beam automatically
den
Strahl durch Daten für Hell- und Dunkeltastung steuern
feed on-off data to the beam
den
Strahl elektromagnetisch ablenken
deflect the beam electromagnetically
den
Strahl formen
shape the beam
den
Strahl genau neben eine Schneide fokussieren
focus the beam just to the side of a knifeedge
den
Strahl in der Mitte eines Feldes positionieren
position the beam at the centre of a field
den
Strahl in einem X-Y-Raster ablenken
spread the beam in an X-Y raster
den
Strahl in verschiedenen Stellen im Raster helltasten
turn the beam on at various points in the scan
den
Strahl rasterartig über das Substrat führen
scan the beam across the substrate
den
Strahl rasterartig über eine quadratische Fläche von 128² Bildelementen führen
raster-scan the beam over a 128-by-128 pixel area
den
Strahl rasterförmig über den Wafer führen
move the beam across the wafer in a raster scan fashion
den
Strahl rasterförmig über die resistbeschichtete Oberfläche führen
raster-scan the beam over the resist-coated surface
den
Strahl rasterförmig über kleine Strecken ablenken
scan the beam over small distances
den
Strahl rechtwinklig zur Tischverschiebung auslenken
scan the beam at right angles to the stage motion
den
Strahl schrittweise über das Schreibfeld führen
step the beam across the writing field
den
Strahl sequentiell zu den zu belichtenden Elementen der Chipstruktur führen
direct the beam sequentially to the elements of the chip pattern to be exposed
den
Strahl sperren
block the beam
(blockieren)
den
Strahl umschalten
switch the beam
den
Strahl zur Justiermarke zurückführen
return the beam to the fiducial mark
den
Strahl über eine Blende ablenken
sweep the beam across an aperture
den
Strahlengang zweimal umlenken
bend the optical path twofold
den
Strom um drei Größenordnungen verändern
vary the current over three orders of magnitude
den
Strompfad abschnüren
pinch off the current path
den
Strukturspeicher laden
load the pattern memory
den
Störpegel begrenzen
limit the background
den
Takt auslösen
actuate the clock
den
Taktimpuls liefern
provide the clock pulse
den
Tisch in X und Y richtig positionieren
position the stage to the proper x-y coordinates
den
Tisch in x- und y-Richtung verschieben
translate the table in the x and y directions
den
Tisch schrittweise verschieben
step the table
den
Tisch schrittweise verschieben
step the stage
den
Transistor abschalten
switch off the transistor
den
Transistor einschalten
turn the transistor on
den
Träger mit dem Chip nach unten in den Sockel einsetzen
mount the carrier chip down into the socket
den
unabgelenkten Strahl bis auf 0,3 mm genau positionieren
keep the beam within 0.3 mm of its undeflected position
den
unterbrochenen Befehl fortsetzen
re-execute the uncompleted instruction
den
Verarbeitungsrechner für andere Aufgaben befreien
free the host for other processing tasks
den
Verarbeitungsrechner von zeitraubenden Eingabe-Ausgabe-Arbeiten befreien
relieve the host of time-consuming I-O chores
den
verfügbaren Speicherplatz erweitern
expand the available memory space
den
Versetzungsfehler aufheben
zero out the translation error
den
Verzerrungsfehler bei gewölbten Wafern verringern
minimize runout error for warped wafers
den
V-förmigen Graben in das Silizium ätzen
etch the V notch out of the silicon
den
von verschiedenen Sensoren ausgehenden digitalen Datenstrom aufnehmen
take in the digital data stream issuing from various sensors
den
Wafer auf den Vakuumteller ansaugen
pull down the wafer on the vacuum chuck
den
Wafer auf einer Seite ebnen
flatten the wafer on one side
den
Wafer aufheizen
heat up the wafer
den
Wafer direkt schrittweise belichten
step directly on the wafer
den
Wafer für den Ätzprozeß maskieren
mask the wafer for etching
den
Wafer in Chlorbenzol tränken
soak the wafer in chlorobenzene
den
Wafer in die richtige Position kippen
tip the wafer into the correct position
den
Wafer in die richtige Position schieben
translate the wafer into the correct position
den
Wafer mit Bondhügeln versehen
bump the wafer
den
Wafer senkrecht beschießen
bombard the wafer at normal incidence
den
Wafer unter dem Elektronenstrahl positionieren
position the wafer underneath the electron beam
den
Wafer wieder in eine Horizontalebene drehen
rotate the wafer back to a horizontal plane
den
Wafer zur optischen Achse justieren
reference the wafer to the optical axis
den
Waferheizer von beiden Seiten zugleich beheizen
heat the susceptor from both sides at once
den
Wafer.in einem X-Y-Raster bewegen
move the wafer in an X-Y raster
den
Wafertisch in bezug auf den Maskentisch in einer genau kontrollierten Weise antreiben
drive the wafer stage relative to the mask stage in a precise and controlled fashion
(ansteuern)
den
Wert bis zu seiner Aktualisierung halten
hold the value until it is updated
(im Speicherflip flop)
den
Wert eintasten
key in the value
den
Wert in der kürzestmöglichen Zeit zurückführen
return the value in the shortest possible time
den
Wert in einen bestimmten Datenspeicherplatz eingeben
enter the value into a particular location in the data memory
den
Zustand bei Empfang eines Eingangssignals umkehren
reverse the nature of the state on receipt of an input signal
den
Zustand der Logik erfassen
capture the state of the logic
den
Zustand von Steuerleitungen erhalten
retain the state of control lines
den
Zähler auf Null
Anfangswert
zurückstellen
reset the counter
den
Zähler in regelmäßigen Abständen inkrementieren
increment the counter at regular intervals
den
Zähler rücksetzen
reset the counter
den
Zähler zurücksetzen
reset the counter
die
belichteten Schaltkreisstrukturen durch den Entwickler entfernen
remove the exposed circuit features by the developer
die
Beziehung zwischen den Blöcken.beschreiben
describe the relationship between blocks
die
Daten im Multiplexbetrieb in den Bus speisen
multiplex the information onto the bus
(eingeben)
die
Daten in den Bus bringen
place the data on the bus
die
Daten in den Speicher einlesen
load the information into the memory
die
Daten in ein für den Verarbeitungsrechner lesbares Format übersetzen
translate the data into a format acceptable to the host
die
Daten wieder in den Speicher einschreiben
write the data back into memory
die
Daten wieder in den Speicher einschreiben
rewrite the data into memory
die
den der aktuellen Aufgabe am besten entsprechenden Speicherplatz wählt
best-fit method
(Gegensatz: first-fit method)
die
Diffusionen zu den VMOS- und n-MOS-Bauelementen selbstjustieren
self-align the diffusions to the V-groove and MOS devices
die
Elektronen auf den Entladungsbereich begrenzen
confine the electrons in the discharge region
die
Entwicklung der Strukturen bis in den 1-μm-Bereich vorantreiben
push geometries down to 1 μm area
die
Fehlerinformationen in den Hilfsprozessor eingeben
load the error information into the support processor
die
für eine aktuelle Aufgabe den ersten verfügbaren Speicherplatz ausreichender Größe wählt
first-fit method
(Gegensatz: best-fit method)
die
Informationen in den Ausgangskanal takten
clock the information into the output port
die
Informationen von den vier Abfühlelementen mitteln
average the information from the four sensors
die
integrierten Schaltkreise durch Testchips in ausgewählten Plätzen auf den Wafern ersetzen
substitute the test chips at selected sites for integrated circuits on wafers
die
Leistung auf den Ruhezustand reduzieren
power down
die
Maske in einem Bearbeitungsschritt nach den magnetbandgespeicherten Daten herstellen
make the mask in one step from the magnetic tape data
die
Originalschablone direkt von den Magnetbandeingangsdaten herstellen
make the master mask directly from the magnetic tape input
die
parasitäre Kapazität mindestens um den Faktor 10 reduzieren
reduce parasitic capacitance by at least a factor of 10
(herabsetzen)
die
Schaltkreisstruktur direkt auf den resistbeschichteten Wafer belichten
expose the circuit pattern directly on the resist-covered wafer
die
Scheibe auf den Wafertisch ablegen
deposit the slice on the wafer stage
die
Struktur auf den Wafer übertragen
transfer the pattern into the wafer
die
Struktur von der Maske auf den Wafer abbilden
replicate the pattern from the mask on the wafer
die
Strukturen auf den Wafer aufbelichten
imprint the patterns on the wafer
die
vereinzelten Chips auf den Filmträger bonden
bond the separated chips to the film carrier
die
Zwischenträgerbrücken zu den Bondhügeln auf dem Chip ausrichten
align the leads with the bumps on the die
die
äußeren Enden des Zwischenträgers auf den Anschlußkamm bonden
bond the outer leads to a lead frame
die
äußeren Enden des Zwischenträgers mit den Substratleitern verbinden
join the outer leads to the substrate conductors
Dielektrika zwischen
den
Schichten
interlevel dielectrics
(Ebenen)
Direkteingabe in
den
Fotorepeater
direct insertion into the step-and-repeat camera
durch
den
Anwender auswechselbar
field-replaceable
durch
den
Fokus gehend
through-focal
durch
den
Mikrocomputer abfragen
interrogate by the microcomputer
durch
den
pn-Übergang diffundieren
diffuse across the junction
durch Steuerimpulse
die
Spaltenadreßbits in den RAM übernehmen
strobe the column address bits into the RAM
Durchgang durch
den
Diffusionsofen
pass through the diffusion furnace
Durchgangsgatter vom Signalspeicher zu
den
Bitleitungen
pass gate from the latch to the bit lines
ein Belegtsignal an
den
Mikrocomputer geben
issue a busy signal to the microcomputer
ein bogenförmiges Bildfeld von 1 mm Breite rasterartig über
den
Wafer führen
scan an arc-shaped image field of 1 mm width across the wafer
ein kleines Bildfeld rasterförmig in zwei Koordinatenrichtungen über
den
Wafer führen
raster-scan a small image field over the wafer in two dimensions
ein Resist auf
den
Wafer aufschleudern
spin a resist onto the wafer
ein vergrößertes Bild auf
den
Spalt fokussieren
focus a magnified image onto a physical slit
ein Wort direkt in
den
Speicher eingeben
enter a word directly into memory
eine Unterbrechung entsprechend
den
festgelegten Prioritäten zulassen
allow an interrupt to occur in accordance with specified priorities
eine zeitliche Verzögerung in
den
Datenübertragungsprozeß einführen
introduce a time lag into the process of transmitting data
einen Maschinenzustand in
den
Zentralprozessor abrufen
scan a machine state into the central processor
(über Datenabfrageleitung)
Eingangsdaten für
den
Schaltkreisentwurf
pattern design data input information
Eingriff durch
den
Operateur
operator intervention
Einspeichern von Daten in
den
Stapelspeicher
push
Entfernung des löslicheren Materials durch
den
Entwickler
removal of the more-soluble material by the developer
entsprechend
den
Anforderungen speziell entwickelt
designed specifically to fit the requirements
ES-Direktschreiben
den
Wafer
electron-beam direct-writing on the wafer
Fehler in
der
Überdeckung zwischen den Strukturen
pattern misregistration
Fehler zwischen
den
Einzelchips
inter-die error
fotolithografische Technik
der
direkten Strukturübertragung auf den Wafer
photolithographic direct-step-on-the-wafer technique
(im Step-und-Repeat-Verfahren)
Freigabesignal für
den
Bus
bus enable
Fremdatome in
den
Wafer in einer bestimmten Struktur einbauen
introduce impurities into the wafer in a particular pattern
Grenzleistungsgröße für
den
Bauelementbetrieb
limiting characteristic for device operation
Hardware für
den
Übergang von einer Aufgabe zur anderen
task-switching hardware
immer kleinere Strukturen auf
den
Siliziumwafer aufbelichten
imprint finer and finer geometries onto the silicon wafer
in bezug auf
den
Eingang invertieren
invert with respect to the input
in
den
anderen stabilen Zustand übergehen
change to the other stable state
in
den
Ausgangszustand Null umschalten
return to zero output state
(springen)
in
den
Einszustand
"1"-Zustand
schalten
go to the ONE state
in
den
Einszustand
"1"-Zustand
schalten
go to the ONE condition
in
den
Kanal eindringen
penetrate into the channel
in
den
Mikroprozessor einlesen
read into the microprocessor
(eingeben)
in
den
Nullzustand schalten
set to zero
in
den
Ruhezustand versetzen
idle
in
den
Röntgenstrahlendetektoren eine Null anzeigen
detect a null in the X-ray detectors
in
den
Röntgenstrahlendetektoren Nullanzeige erreichen
achieve the null in the X-ray detectors
in
den
Schaltkreis einbauen
incorporate into the circuit
(integrieren)
in
den
Sperrzustand zurückschalten
switch back to the cutoff state
in
däs
Hauptprogramm zurückspringen
return to the main routine
in jedem Rasterstreifen
den
Elektronenstrahl nach Maßgabe hell- und dunkeltasten
turn the electron beam on and off along each raster line as required
Inhalt in
den
Stapelspeicher eingeben
load contents onto stack
Isolation zwischen
den
Leitungen
interline isolation
Isolationszone zwischen
den
Elektroden
insulating region between the electrodes
je
den
Streifen in jedem Chip sequentiell schreiben
write each strip in each chip sequentially
Justage
der
Zwischenträger zu den Bondhügeln der Chips
alignment of the tape leads to the chip bumps
Justierfehler zwischen
den
Ebenen
interlevel misalignment
Justiergenauigkeit zwischen
den
Ebenen
level-to-level alignment accuracy
Justiermarken mit
den
Marken auf dem Wafer zur Deckung bringen
bring alignment targets into coincidence with targets on the wafer
konstante Intensität über
den
größten Teil des Strahldurchmessers
constant intensity across most of the beam diameter
Konstanten in
den
Datenweg einlesen
read constants into the data path
Kontaktkopierung
der
Maske auf den Wafer
contact duplication of the mask onto the wafer
Kontrolle des Anlagenbetriebs durch
den
Benutzer
user control of system operation
Kontrolle über
den
Bus erlangen
gain control of the bus
Koordinatentischverschiebung zwischen
den
Feldern
X-Y stage movement between fields
Lage
der
Bondinseln in den Chipecken
location of the bond pads in the corners of a chip
leere Nulloperationsteilschritte in
den
Befehlsablauf einfügen
insert dummy do-nothing sub-steps into the instruction cycle
lichtete Grenzzone zwischen
den
Chips
light-exposed border between the chips be-
lichtete Randzone zwischen
den
Chips
light-exposed border between the chips be-
Lochstreifen über
den
Fernschreiber Zwischenspeichern
dump into paper tape via the teletype auf
Maß für
den
Analogeingang
measure of the analogue input
mehr Funktionen in
den
einzelnen Schaltkreis packen
compress more functions into the individual circuit
mit
den
Bondinseln auf jedem Chip übereinstimmen
coincide with the bonding pads on each die
mit
den
Wafermarken koinzidieren
match wafer marks
(übereinstimmen)
mit einer Verkleinerung von 10:1 auf
den
Wafer abbilden
image with a demagnification of 10:1 onto a wafer
neue Daten in
den
Speicher leiten
gate new data into the memory
nicht
den
Geräteparametern entsprechend
out-of-specification
noch in
den
Anfängen steckend
still-infant
näherungsweise durch
den
Ausdruck darstellen
approximate by the expression
ohne Umweg über
den
Mikroprozessor
without microprocessor intervention
optische Übertragung
der
gewünschten Abbildung von der Fotoschablone auf den Wafer
optical transfer of the desired imagery on the photomask to the wafer
Positionierdaten für
den
Step-und-Repeat-Vorgang
step-and-repeat array data
Programmierbarkeit durch
den
Anwender
user programmability
Programmsegmente in
den
Speicher aufrufen
call segments into memory
Projektionskopierung
der
Maske auf den Wafer
project duplication of the mask onto the wafer
Prozessor in
den
Wartezustand setzen
put the processor in the wait mode den
Prüfung durch
den
Programmierer
programmer check
Pufferspeicher für Datenumladung in
den
Hauptspeicher
swap buffer
Rasterverzerrung an
den
Feldkanten
scan distortion at the field edges
Rauschen auf
den
Taktleitungen
clock line reset noise
Register für
den
aktuellen Zustand
current status register
Reproduzierung von Strukturelementen bis in
den
Submikrometerbereich
replication of features down to the submicron size
Resist für
den
tiefen UV-Bereich
deep UV resist
room in which the system is located
die
harten Klimaanforderungen an den Geräteaufstellungsraum verringern
reduce the environmental constraints on the
Rundung an
den
Ecken
curvature at the corners
Schatten auf
den
darunterliegenden Wafer werfen
cast shadows onto the wafer below
schrittweise Bildübertragung auf
den
Wafer
step-and-repeat wafer imaging
schrittweise optische Übertragung auf
den
Wafer
optical wafer stepping
senkrecht zu
den
Koordinatenachsen
square with the x-y axes
sich im wesentlichen geradlinig auf
den
Vakuumkammerwänden niederschlagen
deposit essentially line-of-sight on the vacuum chamber walls
(Ionenstrahlätzen)
sich über
den
gesamten Kanal erstrecken
extend across the entire channel
Signalabschwächung zwischen
den
Chips
signal attenuation between chips
Steuerelemente für
den
Bondprozeß
bonding process controls
Steuermuster für
den
Ausgangskanal
drive pattern for the output port
Steuerpult für
den
Programmierer
programmer control panel
Steuerung des Anlagenbetriebs durch
den
Benutzer
user control of system operation
Strahl auf
den
genauen Ort plazieren
position the beam to the exact location den
Streuung zwischen
den
Elementen
inter-element scattering
Streuverlust für
den
schlimmsten Fall
worst-case leakage
Strom durch
den
Übergang
junction current
Strukturen bis weit in
den
Submikrometerbereich reproduzieren
replicate patterns well into the submicron level
the polymer film
den
Schatten des Röntgenstrahlabsorbers auf die Polymerschicht projizieren
project the shadow of the X-ray absorber onto
Transport
der
Ladung aus den Potentialmulden
transfer of charge from the potential wells
ungenaue Überdeckung zwischen
den
Ebenen
imprecise level-to-level registration
Verarbeitung zwischen
den
Abtastungen
inter-sample processing
Verfahren
der
direkten Strukturübertragung auf den Wafer
wafer stepping process
Vernetzung in
den
Polymeren bewirken
generate cross-linking in the polymers
verschiedene Retikelbilder an
den
Kanten zusammenfügen
join different reticle images at the edges
Verzögerung für
den
Einschaltvorgang
turn-on delay time
Verzögerungszeit für
den
Ausschaltvorgang
turn-off delay time
Zugriff zu
den
gespeicherten Informationen erlangen
gain access to the stored information
Änderung des Widerstands um
den
Faktor 2
factor of 2 change in resistivity
über
den
Mikrobefehlsbus zum Datenchip leiten
carry on the microinstruction bus to the data chip
Überdeckung fder Maskenbilder zwischen
den
Ebenen
registration of the mask images from level to level
Überdeckung zwischen
den
Ebenen
level-to-level registration
Überdeckung zwischen
den
Schichten
layer-to-layer registration
Überdeckungsfehler in
den
Strukturen
pattern misregistration
Überdeckungsfehler zwischen
den
Ebenen
interlevel misalignment
Überdeckungstoleranz von 0,1 μm zwischen
den
Ebenen
level to-level registration tolerance of 0.1 μm
Überdekkungsgenauigkeit zwischen
den
Ebenen
level-to-level registration accuracy
Übergang von einem stabilen Zustand in
den
anderen
transition from one stable state to the other
Übergang zwischen
den
Bändern
interband transition
Übergang zwischen
den
Bändern
band-band transition
Übertragung
der
Bilder im Step-und-Repeat-Verfahren auf den Wafer
step-and-repeat wafer imaging
(s.a. wafer stepping)
Übertragung
der
gewünschten Strukturen auf den Wafer mit hoher Abbildungs- und Formtreue
high-fidelity transfer of the desired geometries onto the wafer
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