Terms for subject Microelectronics containing den

German	English
A-D-D-A-Wandler	analogue-to-digital and D-A converter
A-D-Umsetzer	analogue-to-digital converter
A-D-Umsetzer mit Vorwärts-Rückwärts-Zähler	tracking A-D converter
A-D-Umsetzer nach dem Verfahren der schrittweisen Annäherung	successive-approximations A-D converter
A-D-Umsetzung	analogue-to-digital conversion
A-D-Umsetzung nach der Einflankenmethode	single-slope conversion
A-D-Wandler	analogue-to-digital converter
A/D-Wandler	analog digital converter
A-D-Wandler nach dem Vierflankenverfahren	quad-slope A-D converter
A-D-Wandler nach dem Wägeprinzip	successive-approximations A-D converter
A/D-Wandler nach dem Zweiflankenverfahren	dual-slope integrating type A-D converter
A-D-Wandler-Steuergerät	analogue-to-digital converter controller
A/D-Wandlung	analogue-to-digital conversion
A-D-Wandlung	analogue-to-digital conversion
Abstand zwischen den Bondinseln	spacing between bond pads
Abstand zwischen den Chips	inter-die spacing
Abstand zwischen den Energiebändern	energy gap
Abstand zwischen den Leitungen	interwire spacing
Abstand zwischen den Objektiven	inter-objective spacing
als Eingang zu einem A-D-Wandler dienen	serve as the input to an A-D converter
als erste Anwärter für die Auslagerung in den Großspeicher kennzeichnen	flag as prime candidates for swapping back to mass storage
an den Eingängen der Leiterplatten empfangen	receive at the inputs of the printed circuit boards
an den Stirnseiten angelötet	side-brazed (Gehäuseanschlüsse)
Anwendung der direkten Strukturübertragung auf den Wafer	direct-step-on-wafer application
Anzeigelampen für den Operateur	operator-indicator lights
Anzeiger für den Haltzustand	halt indicator
Arbeitsspeicher für den Arbeitsbereich der ALE	workspace register
auf den Datenbus leiten	gate onto the data bus (z. B. einen Befehl)
auf den neuesten Stand bringen	update
auf den Sollwert trimmen	trim to the desired value
auf den Speicher zurückübertragen	transfer back to memory
auf den Wafer kopieren	print onto the wafer
Auflösung der A-D-Wandlung	analogue-digital resolution
Auflösung von Resiststrukturen bis in den Submikrometerbereich	definition of resist patterns down to submicron dimensions
Aufruf an den Ablaufteil	executive level command
aus der Entwicklungsphase in den Produktionsbetrieb überführen	take from laboratory to production line operation
Ausdehnung der VLSI-Technik in den Submikrometerbereich	extension of VLSI technology into submicrometre geometries
Ausgang vom D-A-Wandler	output from the DAC
ausgewählte Daten für den Bediener zur Sichtkontrolle ausgeben	output selected data to the operator for visual inspection
Ausrichtung der Zwischenträger zu den Bondhügeln der Chips	alignment of the tape leads to the chip bumps
Außenanschluß an den integrierten Schaltkreisbaustein	external connection to the integrated circuit package
Bauelementstrukturen bis in den 100-Ä-Bereich herstellen	fabricate device structures down to the 100 Ä range
Beschädigung der Magnetplatte durch den Lese-Schreib-Kopf	head crash
Beugung des Lichts an den Kanten der Strukturelemente	diffraction of light at the edges of features in the patterns
Beugungserscheinungen an den Kanten	diffraction phenomena along edges
Bindungen zwischen den Polymermole külen auflösen	break bonds between the polymer molecules
8-Bit-D-A-Wandler	8-bit D-A converter
chemische Beschichtung aus der Gasphase	chemical vapour deposition (CVD)
D-Auffangflipflop	D-latch
D-A-Umsetzer	digital-to-analogue converter
D/A-Umsetzer	digital to analog converter
D A-Umsetzer mit doppelter Pufferung	double-buffered D-A converter
D A-Umsetzer mit invertiertem R-2R-Widerstand-Netzwerk	inverted R-2R D-A converter
D-A-Umsetzer mit R-2R-Widerstand-Netzwerk	R-2R ladder network D-A converter
D-A-Umsetzung	digital-to-analogue conversion
D-A-Wandler	digital-to-analogue converter
D-A-Wandler in Hybridtechnik bauen	build D-A converters in hybrid form
D/A-Wandler-Ausgang	digital-analogue output
D/A-Wandlung	digital-to-analogue conversion
D-A-Wandlung	digital-to-analogue conversion
D-Eingang	D input (Flipflop)
D-Flipflop	delay flip-flop
D-Flipflop	D-type flip-flop
D-Grundflipflop	basic D flip-flop
D-Latch	D-latch
d-Pol	drain
das Bild auf den Wafer übertragen	reproduce the image on the wafer (kopieren)
das Bild der Schablone im Verhältnis 1:1 auf den Wafer projizieren	project the image of the mask at one to one magnification on to the wafer
das Bild von der Maske auf den Fotolack projizieren	project the image from a mask onto a photosensitive resist
das Chip auf den Montagesockel bonden	bond the chip to the header
das Ergebnis in den Akkumulator zurückbringen	place the result back into the accumulator
das Ergebnis in den Speicher zurückbringen	return the result to memory
das fertige Chip umgekehrt in den Keramikträger einsetzen	invert the completed chip into the ceramic carrier
das Fotoresist auf der Oberfläche eines Wafers mit den Strukturen eines Retikels belichten	expose the photoresist on the surface of a wafer to the patterns on a reticle
das Fotoresist nur in den nichtbelichteten Flächen stehenlassen	leave photoresist only in those areas not exposed
das Layout entsprechend den Grundregeln zusammensetzen	synthesize the layout in accordance with the ground rules
das Layout für den Computer in Form seiner Strukturanordnung beschreiben	describe the layout to the computer in terms of its geometry
das Maskenbild auf den resistbeschichteten Wafer projizieren	irradiate a mask onto the resist-coated wafer
das Maskenbild auf den Wafer abbilden	image the mask onto the wafer
das Programm in den Programmspeicher über den Fernschreiber laden	load the program into the program memory via the teletype
das Programm in den Rechner einsetzen	insert the program into the calculator
das Resist gleichmäßig auf den Wafer mit hoher Geschwindigkeit aufschleudern	apply the resist evenly by spinning the wafer at high speed
das Retikel in den Retikeltisch einlegen	insert the reticle into the reticle stage
das Signal zwischen den Abtastwerten mitteln	average the signal between samples
das Substrat gegen den Strahl neigen	tilt the substrate to the beam
Daten in den Speicher einlesen	read data into memory
Daten in den Speicher einschreiben	write data into the memory
Daten in den Stapelspeicher eingeben	push data into the stack
Daten zurück in den Fremdspeicher schreiben	write data back to external memory
Daten über den Bus erhalten	receive information on the bus
Daten über den Bus übertragen	transmit information on the bus
Daten über den Eingangsbus in den Mikroprozessor senden	send information to the microprocessor via the input bus
Datenübertragung über den Kanal	data transmission through the port
defektbehaftete Einzelbilder in den Verband einfügen	insert defective dice into the array
den Abtastraster verschieben	shift the scanned raster
den A-D-Umsetzungsprozeß einleiten	initiate the A-D conversion process
den Akkumulatorinhalt in den A-D-Wandler einschreiben	write the accumulator contents into the A-D converter
den Anschluß mit dem Sockelkontakt herstellen	connect with the socket contact
den Anschlußkammstreifen unter dem Bondwerkzeug in x- und y-Richtung positionieren	locate the lead frame pattern under the bonding tool in the x and y directions
den Ansprüchen der Staubklasse 10000 gerecht werden	satisfy the Class-10,000 requirements
den Ausgang auf logisch Eins setzen	set the output to a logic 1
den Ausgang auf logisch Null zurücksetzen	reset the output to a logic 0
den Ausgang rückkoppeln	feed back the output
den Austausch bewirken	effect the swap
den auszuführenden Befehl angeben	specify the instruction to be performed
den Befehl an das Mikrosteuergerät zur Auswahl des entsprechenden Substrats geben	command the microcontroller to select the appropriate substrate
den Befehl aufnehmen	pick up the instruction
den Befehl erteilen an	command
den Befehl in das Befehlsregister eingeben	load the instruction into the instruction register
den Befehl wiederholen	retry the instruction
den Befehlsablauf fortsetzen	resume the instruction cycle
den Befehlszyklus wiederaufnehmen	resume the instruction cycle
den begrenz ten Speicherplatz belasten	tax the limited memory space (in Anspruch nehmen)
den Belichtungsabstand einstellen	adjust the exposure gap
den 24-Bit-Befehl aus den einzelnen Bytes rekonstruieren	rebuild the 24-bit instruction from the separate bytes
den Bitscheibenprozessor mit langsameren Peripheriegeräten koppeln	hook the bit-slice processor to slower peripherals
den Bus aufgeben	relinquish the bus
den Chipbaustein aus dem Zwischenträgerfilm ausschneiden	cut the die unit from the tape
den Chipträger auf dem Keramiksubstrat durch Aufschmelzlöten befestigen	attach the chip carrier to the ceramic board by means of solder reflow
den Chipträger mit der Oberseite nach unten einsetzen	mount the chip carrier face down (montieren)
den Chipträger mit Lötkontakthügeln versehen	solder-bump the chip carrier
den Datenfluß vom Bus zur Empfangsstation selektiv durchsteuern	gate selectively the flow of information from the bus to the acceptor
den Defekt lokalisieren	pinpoint the defect location
den Detektorausgang in periodischen Zeitabständen abtasten	sample periodically the sensor output
den Dotierungsstoff dem Gasstrom beimengen	introduce the dopant into the mainstream
den Drucker einschalten	activate the printer
den Durchsatz mit Paralleloperationen maximieren	maximize throughput with parallel operations
den Effekt rückgestreuter Elektronen verringern	minimize the effect of backscattered electrons
den effektiven Durchmesser eines fokussierten Strahls vergrößern	broaden the effective size of a focussed beam
den Einsprung in das Maschinenprogramm bei Programmende erzwingen	force entry to the end-of-run routine
den Elektronenstrahl auf eine nutzbare Größe für die Mikrostrukturherstellung verkleinern	demagnify the electron beam to a usable size for microfabrication
den Elektronenstrahl in einem beliebigen Punkt hell- oder dunkeltasten	switch the electron beam on or off at any point
den Elektronenstrahl rasterartig in einer Richtung ablenken	deflect the electron beam in a raster mode along one axis
den Elektronenstrahl rasterförmig über ein Feld von 64 μm × 64 μm ablenken	deflect the electron beam in a raster over a 64μm square field
den Elektronenstrahl schrittweise um 0,5 μm in x-Richtung führen	step the electron beam by 0.5 μm in the x-direction
den Emitter mit dem Kollektor kurzschließen	short the emitter to the collector
den Entwurf in fortschreitend kleinere Funktionsblöcke unterteilen	decompose the design into successively smaller blocks
den Entwurf zeilenweise prüfen	verify the design on a cell-by-cell basis
den Entwurfsregeln für eine bestimmte Fertigungseinrichtung entsprechen	meet the design rules for a particular fabrication facility
den erforderlichen Ausgangslastfaktor erreichen	achieve the required fan-out
den ermittelten Koordinatentischfehler aufheben	nullify the sensed X-Y table error
den Fehler einengen auf	narrow the fault down to
den Fehler feststellen	localize the fault (eingrenzen)
den Fehler schnell einkreisen	locate the trouble rapidly
den fehlerlosen Zustand wiederherstellen	recover from errors
den Fehlerzustand auf einen einzigen Fehler zurückführen	reduce the fault to a single error
den fokussierten Ionenstrahl über den lackbeschichteten Wafer ablenken	deflect the focussed ion beam across the resist-coated wafer
den Fotolack auf der Scheibe belichten	expose the photoresist on the wafer
den ganzen Wafer auf einmal belichten	flood expose the entire wafer
den genauen Chipabstand in bezug auf das Perforationsloch einhalten	retain the accurate chip spacing with respect to the sprocket hole
den geprüften Wafer auf einem ebenen Substrat aufbringen	mount the probed wafer on a flat substrate
den Gesamtprogrammablauf verlangsamen	slow down the overall program flow
den gleichmäßigen Zustand gewährleisten	control
den größeren Prozessor entlasten	save time on the larger processor
den größten Teil des Entwicklers wegschleudern	spin off most of the developer
den Hauptmikroprozessor entlasten	lighten main microprocessor load
den hermetisch abgedichteten Chipträger aus dem Entwicklungsstadium in die Produktion überführen	bring the hermetic chip carrier from the development stage to production
den Inhalt der Adresse in den Eingangsbus senden	send out the contents of the address onto the input bus
den Inhalt der Mikroprozessorregister retten	save the contents of microprocessor registers
den Inhalt der Mikroprozessorregister umspeichern	restore the contents of microprocessor registers
den Inhalt der Speicherzelle auffrischen	refresh the contents of the memory cell
den Inhalt des RS-Flipflops lesen	read the contents of the latch
den Inhalt einer Speicherzelle ändern	modify the contents of a storage location
den Inhalt eines Speicherbereichs auf einen Hilfsspeicher übertragen	copy the contents of a memory area to a backing store
den Inhalt eines Speichers auslesen	read out the contents of a memory
den Inhalt im Hilfsspeicher Zwischenspeichern	dump the contents to a backing store
den Inhalt neu erstellen	regenerate the contents
den Inhalt um eine Position nach rechts verschieben	transfer the contents one position to the right
den Inhalt zur späteren Verwendung zurückgewinnen	recover the contents for later use
den Inhalt über den internen Bus zum Befehlszähler zurückgeben	return contents via internal bus to the program counter
den Ionenstrahl durchqueren	cross through the ion beam
den Kanal drainseitig abschnüren	pinch the channel off at the drain end
den Kanal in seiner gesamten Länge einschnüren	narrow the channel over its entire length
den Kondensator entladen	discharge the capacitor
den Koordinatentisch ansteuern	drive the X-Y stage
den Koordinatentisch mit einer Genauigkeit von 0,01 μm positionieren	position the X-Y stage with an accuracy of 0.01 μm (einstellen)
den Koordinatentisch steuern	drive the X-Y stage
den Kunden über eine Telefonleitung mit der Anlage verbinden	link the customer to the system via a telephone line
den Mikrocomputer von zeitraubenden Aufgaben befreien	relieve the microcomputer of time-consuming tasks
den Mikroprozessor abschalten	shut down the microprocessor
den Mikroprozessor in mehrere Bereiche aufteilen	split the MPU into several sections
den Mikroprozessor stoppen	halt the microprocessor
den Mikroprozessortakt dehnen	stretch the microprocessor clock pulse
den Mikroskopkopf ausschwenken	swing the microscope head out of the way (aus dem Belichtungsstrahlengang)
den MOSFET-Schalter schließen	close the MOSFET switch
den normalen Betrieb in der Unterbrechungsstelle wiederaufnehmen	resume ordinary operation from the point of the interrupt
den normalen Betrieb wiederaufnehmen	resume normal operation
den nächsten Befehl empfangen	receive the next instruction
den nächsten Befehl holen	fetch the next instruction
den Operateur im Waferhandhabungsprozeß in größtmöglichem Maße ausschalten	eliminate the operator in the wafer handling process to the greatest extent possible
den Programmablauf mit der Echtzeit synchronisieren	synchronize the program execution with real time
den Programmen zugewiesene Stammbereiche	storage areas assigned to programs
den Prozessor in kleinere Bauelemente aufteilen	break down the processor into smaller elements
den Prozessor über einen Anschlußadapter an das Fernsprechnetz anschließen	connect the processor through an adapter to the telephone network
den Querschnitt verringern	neck
den Radixpunkt in einer bestimmten vorgewählten Stelle setzen	locate the radix point at a fixed predetermined position
den Rechner vom Fernbedienungsplatz aus über Telefonleitungen diagnostizieren	diagnose the computer from a remote site over telephone lines (prüfen)
den rechteckigen Querschnitt des Elekronenstrahls zwischen 0,1 und 12 μm Kantenlänge variieren	vary the rectangular cross section between 0.1 and 12 μm on a side
den Schalter für logische Eins schließen	close the switch for logic one
den Schalter für logische Null öffnen	open the switch for logic 0
den Schaltkreis aus dem Filmträger ausstanzen	punch the circuit from the film carrier
den Schaltkreis nach seiner Herstellung prüfen	test the circuit after fabrication
den Schaltkreis optimieren	optimize the circuit
den Schreibschaltkreis aktivieren	activate the write circuitry
den sicheren Sitz der Leiterplatte in der Steckverbindung gewährleisten	keep the board securely seated in the connector
den Spalt durch das Lampenbild ausfüllen	fill the slit by the lamp image
den Speicher beschreiben	write to memory
den Speicherbefehl in drei Acht-Bit-Bytes aufteilen	split up the store instruction into three 8-bit bytes
den Speicherinhalt als Ausdruck ausgeben	dump the contents as a printout
den Speicherinhalt löschen	erase the contents of the memory
den Speicherinhalt wiederholt aktualisieren	update repeatedly the memory contents
den Speicherinhalt zerstören	destroy the contents of the memory (löschen)
den Speicherinhalt ändern	alter the contents of the memory
den Status über einen speziellen Hilfsbus abfragen	interrogate the status via a special support bus
den Strahl austasten	blank off the beam
den Strahl automatisch justieren	align the beam automatically
den Strahl durch Daten für Hell- und Dunkeltastung steuern	feed on-off data to the beam
den Strahl elektromagnetisch ablenken	deflect the beam electromagnetically
den Strahl formen	shape the beam
den Strahl genau neben eine Schneide fokussieren	focus the beam just to the side of a knifeedge
den Strahl in der Mitte eines Feldes positionieren	position the beam at the centre of a field
den Strahl in einem X-Y-Raster ablenken	spread the beam in an X-Y raster
den Strahl in verschiedenen Stellen im Raster helltasten	turn the beam on at various points in the scan
den Strahl rasterartig über das Substrat führen	scan the beam across the substrate
den Strahl rasterartig über eine quadratische Fläche von 128² Bildelementen führen	raster-scan the beam over a 128-by-128 pixel area
den Strahl rasterförmig über den Wafer führen	move the beam across the wafer in a raster scan fashion
den Strahl rasterförmig über die resistbeschichtete Oberfläche führen	raster-scan the beam over the resist-coated surface
den Strahl rasterförmig über kleine Strecken ablenken	scan the beam over small distances
den Strahl rechtwinklig zur Tischverschiebung auslenken	scan the beam at right angles to the stage motion
den Strahl schrittweise über das Schreibfeld führen	step the beam across the writing field
den Strahl sequentiell zu den zu belichtenden Elementen der Chipstruktur führen	direct the beam sequentially to the elements of the chip pattern to be exposed
den Strahl sperren	block the beam (blockieren)
den Strahl umschalten	switch the beam
den Strahl zur Justiermarke zurückführen	return the beam to the fiducial mark
den Strahl über eine Blende ablenken	sweep the beam across an aperture
den Strahlengang zweimal umlenken	bend the optical path twofold
den Strom um drei Größenordnungen verändern	vary the current over three orders of magnitude
den Strompfad abschnüren	pinch off the current path
den Strukturspeicher laden	load the pattern memory
den Störpegel begrenzen	limit the background
den Takt auslösen	actuate the clock
den Taktimpuls liefern	provide the clock pulse
den Tisch in X und Y richtig positionieren	position the stage to the proper x-y coordinates
den Tisch in x- und y-Richtung verschieben	translate the table in the x and y directions
den Tisch schrittweise verschieben	step the table
den Tisch schrittweise verschieben	step the stage
den Transistor abschalten	switch off the transistor
den Transistor einschalten	turn the transistor on
den Träger mit dem Chip nach unten in den Sockel einsetzen	mount the carrier chip down into the socket
den unabgelenkten Strahl bis auf 0,3 mm genau positionieren	keep the beam within 0.3 mm of its undeflected position
den unterbrochenen Befehl fortsetzen	re-execute the uncompleted instruction
den Verarbeitungsrechner für andere Aufgaben befreien	free the host for other processing tasks
den Verarbeitungsrechner von zeitraubenden Eingabe-Ausgabe-Arbeiten befreien	relieve the host of time-consuming I-O chores
den verfügbaren Speicherplatz erweitern	expand the available memory space
den Versetzungsfehler aufheben	zero out the translation error
den Verzerrungsfehler bei gewölbten Wafern verringern	minimize runout error for warped wafers
den V-förmigen Graben in das Silizium ätzen	etch the V notch out of the silicon
den von verschiedenen Sensoren ausgehenden digitalen Datenstrom aufnehmen	take in the digital data stream issuing from various sensors
den Wafer auf den Vakuumteller ansaugen	pull down the wafer on the vacuum chuck
den Wafer auf einer Seite ebnen	flatten the wafer on one side
den Wafer aufheizen	heat up the wafer
den Wafer direkt schrittweise belichten	step directly on the wafer
den Wafer für den Ätzprozeß maskieren	mask the wafer for etching
den Wafer in Chlorbenzol tränken	soak the wafer in chlorobenzene
den Wafer in die richtige Position kippen	tip the wafer into the correct position
den Wafer in die richtige Position schieben	translate the wafer into the correct position
den Wafer mit Bondhügeln versehen	bump the wafer
den Wafer senkrecht beschießen	bombard the wafer at normal incidence
den Wafer unter dem Elektronenstrahl positionieren	position the wafer underneath the electron beam
den Wafer wieder in eine Horizontalebene drehen	rotate the wafer back to a horizontal plane
den Wafer zur optischen Achse justieren	reference the wafer to the optical axis
den Waferheizer von beiden Seiten zugleich beheizen	heat the susceptor from both sides at once
den Wafer.in einem X-Y-Raster bewegen	move the wafer in an X-Y raster
den Wafertisch in bezug auf den Maskentisch in einer genau kontrollierten Weise antreiben	drive the wafer stage relative to the mask stage in a precise and controlled fashion (ansteuern)
den Wert bis zu seiner Aktualisierung halten	hold the value until it is updated (im Speicherflip flop)
den Wert eintasten	key in the value
den Wert in der kürzestmöglichen Zeit zurückführen	return the value in the shortest possible time
den Wert in einen bestimmten Datenspeicherplatz eingeben	enter the value into a particular location in the data memory
den Zustand bei Empfang eines Eingangssignals umkehren	reverse the nature of the state on receipt of an input signal
den Zustand der Logik erfassen	capture the state of the logic
den Zustand von Steuerleitungen erhalten	retain the state of control lines
den Zähler auf Null Anfangswert zurückstellen	reset the counter
den Zähler in regelmäßigen Abständen inkrementieren	increment the counter at regular intervals
den Zähler rücksetzen	reset the counter
den Zähler zurücksetzen	reset the counter
die A-D-Umsetzung mit einem Befehl beginnen	start the A-D conversion with one instruction
die belichteten Schaltkreisstrukturen durch den Entwickler entfernen	remove the exposed circuit features by the developer
die Beziehung zwischen den Blöcken.beschreiben	describe the relationship between blocks
die Daten im Multiplexbetrieb in den Bus speisen	multiplex the information onto the bus (eingeben)
die Daten in den Bus bringen	place the data on the bus
die Daten in den Speicher einlesen	load the information into the memory
die Daten in ein für den Verarbeitungsrechner lesbares Format übersetzen	translate the data into a format acceptable to the host
die Daten wieder in den Speicher einschreiben	write the data back into memory
die Daten wieder in den Speicher einschreiben	rewrite the data into memory
die den der aktuellen Aufgabe am besten entsprechenden Speicherplatz wählt	best-fit method (Gegensatz: first-fit method)
die Diffusionen zu den VMOS- und n-MOS-Bauelementen selbstjustieren	self-align the diffusions to the V-groove and MOS devices
die Elektronen auf den Entladungsbereich begrenzen	confine the electrons in the discharge region
die Entwicklung der Strukturen bis in den 1-μm-Bereich vorantreiben	push geometries down to 1 μm area
die Fehlerinformationen in den Hilfsprozessor eingeben	load the error information into the support processor
die für eine aktuelle Aufgabe den ersten verfügbaren Speicherplatz ausreichender Größe wählt	first-fit method (Gegensatz: best-fit method)
die gesamte A-D-Funktion in einem DIP-Gehäuse mit 18 Anschlüssen unterbringen	accommodate the complete A-D function into an 18-pin dual-in-line package
die Informationen in den Ausgangskanal takten	clock the information into the output port
die Informationen von den vier Abfühlelementen mitteln	average the information from the four sensors
die integrierten Schaltkreise durch Testchips in ausgewählten Plätzen auf den Wafern ersetzen	substitute the test chips at selected sites for integrated circuits on wafers
die Leistung auf den Ruhezustand reduzieren	power down
die Maske in einem Bearbeitungsschritt nach den magnetbandgespeicherten Daten herstellen	make the mask in one step from the magnetic tape data
die Originalschablone direkt von den Magnetbandeingangsdaten herstellen	make the master mask directly from the magnetic tape input
die parasitäre Kapazität mindestens um den Faktor 10 reduzieren	reduce parasitic capacitance by at least a factor of 10 (herabsetzen)
die Schaltkreisstruktur direkt auf den resistbeschichteten Wafer belichten	expose the circuit pattern directly on the resist-covered wafer
die Scheibe auf den Wafertisch ablegen	deposit the slice on the wafer stage
die Struktur auf den Wafer übertragen	transfer the pattern into the wafer
die Struktur von der Maske auf den Wafer abbilden	replicate the pattern from the mask on the wafer
die Strukturen auf den Wafer aufbelichten	imprint the patterns on the wafer
die vereinzelten Chips auf den Filmträger bonden	bond the separated chips to the film carrier
die Zwischenträgerbrücken zu den Bondhügeln auf dem Chip ausrichten	align the leads with the bumps on the die
die äußeren Enden des Zwischenträgers auf den Anschlußkamm bonden	bond the outer leads to a lead frame
die äußeren Enden des Zwischenträgers mit den Substratleitern verbinden	join the outer leads to the substrate conductors
Dielektrika zwischen den Schichten	interlevel dielectrics (Ebenen)
Direkteingabe in den Fotorepeater	direct insertion into the step-and-repeat camera
durch den Anwender auswechselbar	field-replaceable
durch den Fokus gehend	through-focal
durch den Mikrocomputer abfragen	interrogate by the microcomputer
durch den pn-Übergang diffundieren	diffuse across the junction
durch Steuerimpulse die Spaltenadreßbits in den RAM übernehmen	strobe the column address bits into the RAM
Durchgang durch den Diffusionsofen	pass through the diffusion furnace
Durchgangsgatter vom Signalspeicher zu den Bitleitungen	pass gate from the latch to the bit lines
ein Belegtsignal an den Mikrocomputer geben	issue a busy signal to the microcomputer
ein bogenförmiges Bildfeld von 1 mm Breite rasterartig über den Wafer führen	scan an arc-shaped image field of 1 mm width across the wafer
ein kleines Bildfeld rasterförmig in zwei Koordinatenrichtungen über den Wafer führen	raster-scan a small image field over the wafer in two dimensions
ein Resist auf den Wafer aufschleudern	spin a resist onto the wafer
ein vergrößertes Bild auf den Spalt fokussieren	focus a magnified image onto a physical slit
ein Wort direkt in den Speicher eingeben	enter a word directly into memory
eine Unterbrechung entsprechend den festgelegten Prioritäten zulassen	allow an interrupt to occur in accordance with specified priorities
eine zeitliche Verzögerung in den Datenübertragungsprozeß einführen	introduce a time lag into the process of transmitting data
einen Maschinenzustand in den Zentralprozessor abrufen	scan a machine state into the central processor (über Datenabfrageleitung)
einen Wert für d/L von annähernd Eins ergeben	give a value of d/L very nearly unity
Eingangsdaten für den Schaltkreisentwurf	pattern design data input information
Eingriff durch den Operateur	operator intervention
Einspeichern von Daten in den Stapelspeicher	push
Entfernung des löslicheren Materials durch den Entwickler	removal of the more-soluble material by the developer
entsprechend den Anforderungen speziell entwickelt	designed specifically to fit the requirements
ES-Direktschreiben den Wafer	electron-beam direct-writing on the wafer
Fehler in der Überdeckung zwischen den Strukturen	pattern misregistration
Fehler zwischen den Einzelchips	inter-die error
fotolithografische Technik der direkten Strukturübertragung auf den Wafer	photolithographic direct-step-on-the-wafer technique (im Step-und-Repeat-Verfahren)
Freigabesignal für den Bus	bus enable
Fremdatome in den Wafer in einer bestimmten Struktur einbauen	introduce impurities into the wafer in a particular pattern
getaktetes D-Flipflop	data latch
Grenzleistungsgröße für den Bauelementbetrieb	limiting characteristic for device operation
Hardware für den Übergang von einer Aufgabe zur anderen	task-switching hardware
immer kleinere Strukturen auf den Siliziumwafer aufbelichten	imprint finer and finer geometries onto the silicon wafer
impulsbreitenmodulierter D-A-Umsetzer	pulse-width-modulated D-A converter
in bezug auf den Eingang invertieren	invert with respect to the input
in den anderen stabilen Zustand übergehen	change to the other stable state
in den Ausgangszustand Null umschalten	return to zero output state (springen)
in den Einszustand "1"-Zustand schalten	go to the ONE state
in den Einszustand "1"-Zustand schalten	go to the ONE condition
in den Kanal eindringen	penetrate into the channel
in den Mikroprozessor einlesen	read into the microprocessor (eingeben)
in den Nullzustand schalten	set to zero
in den Ruhezustand versetzen	idle
in den Röntgenstrahlendetektoren eine Null anzeigen	detect a null in the X-ray detectors
in den Röntgenstrahlendetektoren Nullanzeige erreichen	achieve the null in the X-ray detectors
in den Schaltkreis einbauen	incorporate into the circuit (integrieren)
in den Sperrzustand zurückschalten	switch back to the cutoff state
in däs Hauptprogramm zurückspringen	return to the main routine
in jedem Rasterstreifen den Elektronenstrahl nach Maßgabe hell- und dunkeltasten	turn the electron beam on and off along each raster line as required
Inhalt in den Stapelspeicher eingeben	load contents onto stack
Isolation zwischen den Leitungen	interline isolation
Isolationszone zwischen den Elektroden	insulating region between the electrodes
je den Streifen in jedem Chip sequentiell schreiben	write each strip in each chip sequentially
Justage der Zwischenträger zu den Bondhügeln der Chips	alignment of the tape leads to the chip bumps
Justierfehler zwischen den Ebenen	interlevel misalignment
Justiergenauigkeit zwischen den Ebenen	level-to-level alignment accuracy
Justiermarken mit den Marken auf dem Wafer zur Deckung bringen	bring alignment targets into coincidence with targets on the wafer
konstante Intensität über den größten Teil des Strahldurchmessers	constant intensity across most of the beam diameter
Konstanten in den Datenweg einlesen	read constants into the data path
Kontaktkopierung der Maske auf den Wafer	contact duplication of the mask onto the wafer
Kontrolle des Anlagenbetriebs durch den Benutzer	user control of system operation
Kontrolle über den Bus erlangen	gain control of the bus
Koordinatentischverschiebung zwischen den Feldern	X-Y stage movement between fields
Ladungsausgleich-A-D-Umsetzer	charge-balancing A-D converter
Lage der Bondinseln in den Chipecken	location of the bond pads in the corners of a chip
leere Nulloperationsteilschritte in den Befehlsablauf einfügen	insert dummy do-nothing sub-steps into the instruction cycle
lichtete Grenzzone zwischen den Chips	light-exposed border between the chips be-
lichtete Randzone zwischen den Chips	light-exposed border between the chips be-
Lochstreifen über den Fernschreiber Zwischenspeichern	dump into paper tape via the teletype auf
Maß für den Analogeingang	measure of the analogue input
mehr Funktionen in den einzelnen Schaltkreis packen	compress more functions into the individual circuit
Mehrkanal-A-D-Umsetzer	multichannel A-D converter
mit den Bondinseln auf jedem Chip übereinstimmen	coincide with the bonding pads on each die
mit den Wafermarken koinzidieren	match wafer marks (übereinstimmen)
mit einer Verkleinerung von 10:1 auf den Wafer abbilden	image with a demagnification of 10:1 onto a wafer
monolithischer D-A-Umsetzer	monolithic D-A converter
neue Daten in den Speicher leiten	gate new data into the memory
nicht den Geräteparametern entsprechend	out-of-specification
noch in den Anfängen steckend	still-infant
näherungsweise durch den Ausdruck darstellen	approximate by the expression
ohne Umweg über den Mikroprozessor	without microprocessor intervention
optische Übertragung der gewünschten Abbildung von der Fotoschablone auf den Wafer	optical transfer of the desired imagery on the photomask to the wafer
Positionierdaten für den Step-und-Repeat-Vorgang	step-and-repeat array data
Programmierbarkeit durch den Anwender	user programmability
Programmsegmente in den Speicher aufrufen	call segments into memory
Projektionskopierung der Maske auf den Wafer	project duplication of the mask onto the wafer
Prozessor in den Wartezustand setzen	put the processor in the wait mode den
Prüfung durch den Programmierer	programmer check
Pufferspeicher für Datenumladung in den Hauptspeicher	swap buffer
2-Rampen-D-A-Umsetzer	integrating dual-slope D-A-converter
2-Rampen-A/D-Umsetzer	dual-slope integrating type A-D converter
Rasterverzerrung an den Feldkanten	scan distortion at the field edges
Rauschen auf den Taktleitungen	clock line reset noise
Register für den aktuellen Zustand	current status register
Reproduzierung von Strukturelementen bis in den Submikrometerbereich	replication of features down to the submicron size
Resist für den tiefen UV-Bereich	deep UV resist
room in which the system is located die harten Klimaanforderungen an den Geräteaufstellungsraum verringern	reduce the environmental constraints on the
Rundung an den Ecken	curvature at the corners
Schatten auf den darunterliegenden Wafer werfen	cast shadows onto the wafer below
schneller A-D-Wandler	fast-acceleration A-D converter
schrittweise Bildübertragung auf den Wafer	step-and-repeat wafer imaging
schrittweise optische Übertragung auf den Wafer	optical wafer stepping
senkrecht zu den Koordinatenachsen	square with the x-y axes
sich im wesentlichen geradlinig auf den Vakuumkammerwänden niederschlagen	deposit essentially line-of-sight on the vacuum chamber walls (Ionenstrahlätzen)
sich über den gesamten Kanal erstrecken	extend across the entire channel
Signalabschwächung zwischen den Chips	signal attenuation between chips
Steuerelemente für den Bondprozeß	bonding process controls
Steuermuster für den Ausgangskanal	drive pattern for the output port
Steuerpult für den Programmierer	programmer control panel
Steuerung des Anlagenbetriebs durch den Benutzer	user control of system operation
Strahl auf den genauen Ort plazieren	position the beam to the exact location den
Streuung zwischen den Elementen	inter-element scattering
Streuverlust für den schlimmsten Fall	worst-case leakage
Strom durch den Übergang	junction current
Strukturen bis weit in den Submikrometerbereich reproduzieren	replicate patterns well into the submicron level
the polymer film den Schatten des Röntgenstrahlabsorbers auf die Polymerschicht projizieren	project the shadow of the X-ray absorber onto
Transport der Ladung aus den Potentialmulden	transfer of charge from the potential wells
ungenaue Überdeckung zwischen den Ebenen	imprecise level-to-level registration
Verarbeitung zwischen den Abtastungen	inter-sample processing
Verfahren der direkten Strukturübertragung auf den Wafer	wafer stepping process
Vernetzung in den Polymeren bewirken	generate cross-linking in the polymers
verschiedene Retikelbilder an den Kanten zusammenfügen	join different reticle images at the edges
Verzögerung für den Einschaltvorgang	turn-on delay time
Verzögerungszeit für den Ausschaltvorgang	turn-off delay time
Zugriff zu den gespeicherten Informationen erlangen	gain access to the stored information
zweifaches D-Flipflop	dual D bistable
Zweirampen-A-D-Umsetzer	dual-slope integrating type A-D converter
Änderung des Widerstands um den Faktor 2	factor of 2 change in resistivity
über den Mikrobefehlsbus zum Datenchip leiten	carry on the microinstruction bus to the data chip
Überdeckung fder Maskenbilder zwischen den Ebenen	registration of the mask images from level to level
Überdeckung zwischen den Ebenen	level-to-level registration
Überdeckung zwischen den Schichten	layer-to-layer registration
Überdeckungsfehler in den Strukturen	pattern misregistration
Überdeckungsfehler zwischen den Ebenen	interlevel misalignment
Überdeckungstoleranz von 0,1 μm zwischen den Ebenen	level to-level registration tolerance of 0.1 μm
Überdekkungsgenauigkeit zwischen den Ebenen	level-to-level registration accuracy
Übergang von einem stabilen Zustand in den anderen	transition from one stable state to the other
Übergang zwischen den Bändern	interband transition
Übergang zwischen den Bändern	band-band transition
Übertragung der Bilder im Step-und-Repeat-Verfahren auf den Wafer	step-and-repeat wafer imaging (s.a. wafer stepping)
Übertragung der gewünschten Strukturen auf den Wafer mit hoher Abbildungs- und Formtreue	high-fidelity transfer of the desired geometries onto the wafer