Terms for subject Microelectronics containing cleaning

English	Russian
clean air bench	рабочее место с очищенным воздухом
clean bench	рабочее место в чистой комнате
clean dry room	чистое производственное помещение с осушённой атмосферой
cleaning operation	очистка
cleaning technique	метод очистки (ssn)
heat cleaning	термическая очистка
ion-beam cleaning	ионная очистка
organic cleaning	очистка в органических растворителях
plasma etch cleaning	очистка плазменным травлением
solvent cleaning	очистка в растворителях
sputter cleaning	очистка распылением