Terms for subject Microelectronics containing characterization

English	Russian
ellipsometric characterization	эллипсометрическое измерение
LSI characterization	характеристики БИС
mos-process characterization	характеристики МОП-технологии
mos-process characterization	параметры МОП-технологии
process characterization tool	приборы для контроля качества технологического процесса
properties characterization	определение характеристик
properties characterization	свойства
properties characterization	определение свойств
technology characterization vehicle	средство для контроля технологического процесса